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NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL
文 │ 陳鏘澤 │ 研究專案部 │
Editor's
Column
編者‧言 NFJ ournal
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繼一月份探討虛擬實境建廠手法的創刊號之後，本期我們將換一個角度來談談創新及環保節能在
我們工作面的應用及外界的發展現況。
特別企劃中我們特別邀請 ITRS roadmap 委員 Dr. Andreas Neuber針對半導體廠房在廠務設施及
製程機台的節能手法提出其多年研究的看法，其中除了多年來在廠務系統的節能手法之外，也包括
在製程機台端未來到2015年之節能及Roadmap，相信藉由此篇文章的分享，期待能引發我們在此
方面的思考及更進一步的突破。
除此之外，技術專文中收錄了四篇文章，其中廠務同仁提出運用創新微震技術，解決灰塵微粒污
染晶舟傳送的問題，以提升良率並節省成本；並刊載螢光偵測氟化鉀的最新技術，可望縮短晶圓受
到氟離子汙染的檢測時間。新象新知介紹系統時鐘管理的新手法－藉由網路功能將數以千百計的時
鐘達到一致性；另外，介紹如何透過「Google」的概念收集資訊，以協助建廠規劃設計。最後在樂
活園地裡，透過俊勝快門下的捕捉，一起分享他看到的美麗視界。
藉此機會，讓我們一起恭賀本刊發行人莊子壽處長榮獲台灣國際專案管理師協會辦理的第二屆
「十大傑出專案經理人獎」，並於4月17日由立法院王金平院長頒發此榮耀，身為公司的一份子我
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們亦深感與有榮焉。
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