Page 60 - Vol.14

ch
c
ch
ch
ch
ch
ch
ch
c
c
c
c
ch
ch
h
h
h
h
h
h
ch
c
c
ch
ch
c
ch
ch
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
ch
ch
ch
c
ch
ch
ch
e
e
e
c
c
e
c
c
c
c
ch
c
c
ch
c
c
c
c
c
c
c
c
c
c
c
c
Techch
ch
c
ch
Te Te Te Te Te Te Te Te Te Te Te Te Te Te Te T Te Te Te Te Te Te T Te Te T Te T Te T Te Te Te Te Te Te Te Te Te T T T Te T T Te Te Te Te Te Te T Te Te Te T Te T T Te T Te Te Te T Te Te T Te T Te Te Te Te T Te T Te Te T Te Te T T Te Te T T T T T T T Te T T T T T T T T T
c
c
c
h
h
h
h
h
h
h
h
h
h
h
h
h
h
h
c
ch
h
c
c
c
c
h
h
h
h
h
te
t
te
t
te
t
t
t
t
t
te
t
t
t
te
t
t
t
te
t
t
t
t
t
t
te
t
t
te
t
te
te
te
te
te
te
e
e
e
te
te
e
te
te
te
te
t
t
t
t
te
te
te
te
t
te
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
e
te
t
t
te
t
t
t
t
te
te
te
te
t
t
t
t
t
t
t
t
t
te
te
t
t
t
t
te
te
te
t
te
te
te
t
te
te
t
te
te
t
te
te
t
te
te
t
te
te
te
te
te
t
te
te
N No
N No
No
No
No
No
No
N No
N No
N N N N No
N No
No
No
No
No
Notes
No
No
N N N N N N N N N N N N N N N N N N N N N No
N N N No
No
N N N No
No
No
No
No
No
No
No
No
No
No
N N N No
No
No
N No
No
N N No
No
N N N N N N No
No
N N No
N N No
N No
N No
No
Notes
No
N No
N N N N N N No
N N No
No
N No
No
No
No
No
No
No
o
o
o
o
o
o
o
o
o
No
No
No te s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s s
No
No
o
o
No
o
o
o
o
o
o
o
o
No
o
o
o
o
o
o
o
o
o
o
o
專
專
專
專文
專
專文
專文
專
專文
專文
專文
專文
專文
專文
專
專
專文
專
專
專文
專
專
專文
專
專
專
專
專
專
專文
專文
專
專
專
專
專
專
專
專
專
專
專
專
專
文
文
專
專
專文
專
專文
專
專
專文
專
專文
專
專文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
文
專
專
專
專
專
專文
專文
專
專
專
專
專文
專文
專文
專文
專文
專
專
專
專
專
專
專
專
專
專
專
專文
專
專
專
專
專
專文
專文
專
專
專
專
專
技術專文
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技
技術
技術
技術
技
技
技
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
術
術
術
術
術
術
術
術
術
術
術
術
術
術
術
術
術
技術
技術
術
術
技術
技術
技術
技術
術
術
術
術
術
術
術
術
術
技術
專文
專
技 術 專 文
專
專
專
專
專
技術
技
技
技
技術
技
技術
技
技
專
專
專
專
專
專文
專文
專文
專文
專
專
專文
專
專文
專
專
專文
技術
技
技術
技術
技術
技
技
技術
技
技術
技
技
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技術
技
技術
技
技術
技術
技
技術
技術
技
Constant Pressure
Feedback Control
Application for
Low-pressure Gas
2
1
1
2
文│黃介然 許駿烽 │ 新廠設計部 十二B廠廠務工程專案│
ЭᏀं᜗ʘᏀɢܩ֛৙બછՓᏐ͜
低蒸氣壓氣體供應系統會因相位變化造成供給壓力不足或不穩定，且以機械式調壓閥調整壓力，調壓
閥之機械壓損特性亦會造成供應壓力之不穩定。本文探討此一現象之發生原因，並應用壓力恆定迴授
控制改善低蒸氣壓氣體之供應。
前言
加壓氣體依 GHS（Global Harmonized System, 全球調和制度）定義是指在 20℃時，以不
低於 280 kPa 的壓力儲藏在容器中，或以冷凍液態儲藏在容器中的氣體。“低壓液化氣
體＂又稱「高臨界溫度液化氣體」，是根據裝配時氣體的物理狀態做為分類，當臨界溫度
大於 65℃，氣體鋼瓶內呈氣液兩相共存狀態，在使用過程中，鋼瓶內部壓力始終保持為貯
存溫度下之飽和蒸氣壓力。由於液化氣體的飽和蒸氣壓力是溫度的函數 P=f(T)，所以它的
最高工作壓力即為氣體在最高使用溫度下的飽和蒸氣壓力，例如 WF 6 、BCl 3 、HF、DCS、
C 5 F 8 、SiCl 4 等均屬於低壓液化氣體，其供應往往有壓力不足或不穩定之困擾，但改變傳統
之低壓氣體供應模式即可改善。
廠務特殊氣體系統對低蒸氣壓氣體 (Low Vapor Pressure Gas，如 SiH 2 Cl 2 , HF, SiCl 4 與WF 6
等 ) 之供應，往往會遭遇到供應壓力不足或不穩定之困擾，主要原因除了氣體本身低壓特性
外，氣體之氣液兩相變化亦會因週遭環境溫度之變化，造成氣體本身相位之變化，液相狀
態下易造成供應系統管路發生阻塞，導致供給壓力下降。此外傳統氣瓶櫃 (Gas Cabinet) 之
氣體壓力調整是以機械式之調壓閥 (Regulator) 調整壓力，會因為二次側之使用流量之增加，
調壓閥之機械壓損特性造成供應壓力之下降。使用新型式之壓力控制模組 (PCM, Pressure
Control Module)，應用「壓力恆定迴授控制」方式改變以往傳統之低壓氣體供應模式，可
有效改善供應壓力不足與不穩定之困擾。
2004 年進 TSMC 即加入新廠工程處至今。 常存喜樂，保持面對問題時
介然 駿烽
愛山、玩相機、也愛宅在家裡玩 3C，通 許 J.F. Hsu 的正面思考；凡事感恩，突
稱為「果粉」族。 破習以為常尋找創新靈感。
座右銘為「行於所當行，止於不可不止」
黃 Andy Huang
6
6
6
6
6
566
5
56 NEW FAB JOURNAL JUNE 2014 57
56
56
56