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0 ×0 3 電

s
1V 2v 0 ×

0 電
s

1U
2w

1W 2u 電
電 行
出 台積電新廠
00 00

U
0

0.3

0.5
力 電
電
0.9 電
1.0
0 行
t 電
T
T1=1.671 電
T2
生
行
所
電
(Hz) 120 180 240 360 400 有
電
( ) 60 40 30 20 18 有
路
1. =120 * /
2. 期 有 路

電

有
2v 有
1V
電
M • G SET 製造
M G 廠 行
2u 1W 年 出電

2w
1U 電
電 電 電
電 電
文
= b
0 電 × = × 電 製
0 ÷0 = 0 ×0 電 行

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL SEPTEMBER 2015 1 1