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300mm FABS
FACILITY JOURNAL
SEPTEMBER/2018
L.31
V
O
TSMC / 300mm FD PUBLISHED URL.http://nfjournal/
NEW FAB ENGINEERING
300mm F ABS F ACILITY JOURNAL
水氣化系統運轉
生產力提升與自動化發展實務
研磨液自動循環系統開發 解決手動操作風險
Automation Drum Circulation System Development
平整劑應用於液中求銅系統產能提升
Applying Leveling Agent in W-CuSO Plating System for Performance Enhancement
廢水外排不鈷息：先進製程廢水全鈷回收
Cobalt Recycle Methodology Study on Waste Water Treatment
70%
Productivity Improvement and
Automation Development Practice of Water 85%
Treatment
Processing Utility Supply System
廠務生產力提升在這幾年同仁的努力下已經從原本的夢想漸漸凝聚成具體的想法，並
逐步被實現。本期廠務季刊將跟大家分享這段時間竹科、中科、南科各個廠務團隊開
發自動化技術、提升生產力的成果。文章將分享如何透過製程優化讓液中求銅的產銅
效率更好，此外同仁透過數值分析與模擬設計研磨液循環系統取代手動操作的搖搖機 100%
(Shaker)，還有先進製程含鈷廢水回收的處理方法探討，達成高純度鈷棒回收目標 Vol. Chemical
Gas &
20
Vol.31
牽手愛地球，本刊物採用來自於良好管理 SEPTEMBER 2018
DECEMBER 2015
森林的環保用紙及無毒大豆油墨印製。
封面圖片/水氣化系統生產力提升與自動化發展概念圖
Fabs Facility Division
封底照片/竹科十二廠六期液中求銅系統 攝影、封面設計/洪湘寧
