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新象新知

結果與分析
SEX NH 3 IC Online Trand Chart
流洗液貯存器
廢液 400.0
抑制器
此 實驗分為兩個階段，第 流洗液輸送 350.0 NH4+
一階段PPWD加IC直測
泵浦 300.0
煙道與denuder採樣方式，比 250.0
偵檢器
較兩者採樣效率，第二階段藉 ppb 200.0
電導度偵測器
由切點方式達到多點採樣，確 150.0
認是否有相同的再現性，同時 取樣器 100.0
50.0
經由廠區不同區域佈置煙囪採
0.0
樣管來得到不同製程區域的煙 保護管柱
道排放濃度。 資料儲存 11/0100:00 11/0113:00 11/0202:00 11/0215:00 11/0304:00 11/0317:00 11/0406:00 11/0419:00 11/0508:00 11/0521:00 11/0610:00 11/0623:00 11/0712:00 11/0801:00 11/0814:00 11/0903:00 11/0916:00 11/1005:00 11/1018:00 11/1107:00 11/1120:00 11/1209:00 11/1222:00 11/1311:00 11/1400:00 11/1413:00 11/1502:00 11/1515:
分離系統 層析工作站 儀器控制
分析管柱
SEX NH 3 Acid Online Trand Chart
第一階段─PPWD + IC直
120.0
測煙道驗證其採樣效率 SEX Acid IC Online Trand Chart F Cl NO 3 SO 4
100.0
從測試結果 圖6得知，氨氣、 圖5、離子層析儀的結構
80.0
氫氟酸、鹽酸及硝酸在測值趨
勢圖上 圖5 都有不錯的相關性 ppb 60.0
IC Denuder氣狀NH 3測值 IC Denuder氣狀HF測值
2
R >0.85。磷酸因煙道測值偏 400 300 40.0
低(<5ppb) ，取樣後無法反應 IC Denuder IC Denuder 20.0
300
煙道中低濃度真實測值，而硫 200 0.0
酸部分因粒狀比例較高，故氣 ppb 200 相關性0.95 ppb 100 相關性0.86
狀硫酸也遇到與磷酸一樣之狀 100 11/0100:00 11/0113:00 11/0202:00 11/0215:00 11/0304:00 11/0317:00 11/0406:00 11/0419:00 11/0508:00 11/0521:00 11/0610:00 11/0623:00 11/0712:00 11/0801:00 11/0814:00 11/0903:00 11/0916:00 11/1005:00 11/1018:00 11/1107:00 11/1120:00 11/1209:00 11/1222:00 11/1311:00 11/1400:00 11/1413:00 11/1502:00 11/1515:
況，雖偵測到低濃度硫酸，但 0 0
Test-1 Test-2 Test-3 Test-4 Test-5 Test-6 Test-1 Test-2 Test-3 Test-4 Test-5 Test-6
2
測值相關性不理想R <0.5；但
因五酸中氫氟酸、鹽酸及硝酸 IC Denuder氣狀HCl測值 IC Denuder氣狀HNO 3測值 圖7、PPWD + IC 在SEX 酸鹼性氣狀污染物趨勢圖
200 120
佔排放比例達70%在量測煙道
IC Denuder IC Denuder
上已有足夠代表性，其濃度趨 150 80
勢圖如 圖7。 ppb 100 相關性0.98 ppb 相關性0.97
40
50
0 0
第二階段─PPWD + IC + Test-1 Test-2 Test-3 Test-4 Test-5 Test-6 Test-1 Test-2 Test-3 Test-4 Test-5 Test-6 全管加熱
切點系統
IC Denuder氣狀H 3PO 4測值 IC Denuder氣狀H 2SO 4測值 40˚C
其系統架構 圖8，煙囪出口溫 12.0 50
度約20℃為避免煙道污染物 9.0 IC Denuder 40 IC Denuder 煙道 切點系統 PPWD IC 整合系統
因取樣管採樣過程中沉積在 ppb 6.0 相關性0.10 ppb 30 相關性0.48 回傳測值
管壁上，故建置全管加熱系統 20
3.0 圖8、AAS online IC monitor system 示意圖
(40℃)。 10
0.0 0
量測結果顯示，氫氟酸、硝酸 Test-1 Test-2 Test-3 Test-4 Test-5 Test-6 Test-1 Test-2 Test-3 Test-4 Test-5 Test-6
及氨氣的即時量測讀值皆與傳
統denuder採樣之氣狀污染物 圖6、PPWD + IC與denuder採樣之氣狀污染物相關性比較圖 結論
濃度趨勢有一致性，除原本量
測不佳的磷酸及硫酸外，另外
未來能有更新的採樣方式將粒狀污染物也納入會有更完整的採樣數據 因應日趨嚴格的空污法規及本著綠色製造的精神，廠務一直致力於空污減量及達到環
發現鹽酸在經採樣管採樣後沒
呈現。 境背景值為目標，故即時及有效監煙囪排放為一重要課題，於此廠務在煙道建立了IPA
有測值反應 圖9與 圖10判斷為
monitor加F 2 monitor及Opacity白煙即時監測等都是為能更有效掌握廠區空污排放狀態，本
煙道中因含有氨氣與鹽酸反應 以目前PPWD、IC、切點系統來看藉由可切點量測的優勢，雖然目前
形成粒狀物氯化銨後被過濾下 切點只可有效量測氫氟酸、硝酸及氨氣，但由每年1~2筆數據到每天 次導入PPWD加IC monitor也是相同的精神，雖目前只能做氣狀污染物的量測，但也確立
來造成無測值情形發生。這是 有1~2筆以上的數據量，仍可以此作為觀察煙道排放的趨勢，更可以 了IC 量測在煙道的可行性，甚至未來有機會可以導入denuder、Steam Collector收集氣狀
目前採樣管取樣上的限制，若 即時驗證煙道改善成效。 及粒狀污染物並串聯離子層析儀 圖11更有機會使該量測機制更加完善。

100 FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2019 101