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圖十、F14P4於排氣風管上裝設之防火閘門 圖十二、ABD型式與結構圖 圖十四

一次側壓力變化

圖十三、學理分析

驅動器
2
大氣壓力P o [Pa] A a [m ] 二次側壓力變化
風管壓力P d [Pa]
圖十一、機械式自動防火閘門

d a [m]
配重
1
θ
l w [m]

M*g [N]
CONCLUSION
• 驅動力轉矩 F = ( o P − d P ) A⋅ a 結語
a
M a = a F a d ⋅
• 設定力轉矩 M b = M ⋅g ⋅ w l ⋅ cos θ
• 靜力轉矩平衡@Point 1 ∑ M = 0 = M b M− a
 Point 1為轉動風門葉片的轉軸 建廠區排氣系統風管與風門的發展與應用，除
• 風管壓力改變為P d ’ ( −PP )⋅ ′ d A ⋅d = M ⋅g ⋅ w l ⋅cos θ′ 新
o a a
新的平衡角度 針對以往使用上的缺失，進行持續改善以外，
也在追求更卓越的操作性能與可靠度，同時能兼顧建
置成本的降低。此外，在日益受到重視的節能減碳課
題上，風管與風門的發展亦是考量的重點之一，透過
(如圖九、圖十、圖十一)。 氣減量的目的。 排氣系統使用上的最佳化過程，除了具備更好的使用
品質以外，也可以大幅降低工廠運轉上的耗能。
其設計原理主要是利用弧形葉片風門、氣壓艙、
配重裝置的組合，來達到自動調節壓力與風門開度的
目的。當一次側管路負壓發生變化時，會造成氣壓艙
ABD (Auto Balance Damper) 的膜片位置變化，而經由連桿帶動風門的配重裝置，
自動平衡風門的開發 當整體達到槓桿平衡時，葉片開度亦跟著改變，而能 REFERENCES 姚文淙 Elton Yau
自動調整二次側的壓力值。(圖十三) 參考文獻 服務單位：十二廠六期專案
經由實際的實驗測試其穩壓性能，我們發現當系
一 般製程排氣系統中，皆採用手動的風門控制方 統一次側壓力變化達到 ±200Pa時，經由ABD裝 [1] FLOWTECH CO., LTD陽鼎實業股份有限公 在台積工作十一年，從運轉
單位轉入新建工程處，面對
式，來達到調整系統壓力的目的。若因主系統
截然不同的新挑戰。運轉單
壓力異常，或大量裝機需求所產生的壓力變化，風門 置的自動調節，可將二次側壓力控制於+20.4Pa~ 司，通風設備性能與耐溫測試實驗室，「BD-
位是在既有的基礎上，追求
均無法自動進行調節，而產生機台的靜壓不穩定，與 -52.2Pa之間。若以一般廠區壓力異常發生時的狀 10003301風門洩漏測試報告」，2011。
系統的穩定與持續改善；而
過高的排氣量。此一情況，不但增加風機耗電量，也 況，其壓力變化通常更小於±200Pa，則其二次側壓
[2] 陳希立、郭祐甫，台灣大學，「自動平衡風門研 新建工程單位則必須從無到
間接增加外氣空調箱及冰水主機負荷，無形中造成能 力的控制範圍會更良好，甚至對機台不產生影響。 有，除了在設計上必須投
發計畫結案報告」，2009。
源的浪費。 (圖十四) 入更多新設計與想法，也必須以更宏觀的角度，綜觀系統
[3] 晃誼科技股份有限公司網站，http : / / www.
因此新建工程處開始與產學界合作，開發ABD 在未來的新建廠區中，自動平衡風門將會逐步推 的整體面象，在監造上要考量要徑的掌握，採用更效率化
uangyih.com.tw/big5/index.php 的管理。感謝長官與同事的協助，讓我獲益匪淺。E-mail:
(Auto Balance Damper)「自動平衡風門」裝置(圖 展及運用，同時持續追求更穩定的操作性能，藉由
elton_yau@tsmc.com
十二)，藉由此「自動平衡風門」的開發與應用，來 自動平衡風門的設置，希望可以使排氣系統，達成穩 [4] 盧銘駿，tsmc F12，「風管Ohm Damper防止震
增加製程機台排氣系統壓力的穩定性，並同時達到排 壓、限流、省能的多重目的。 動固定裝置」報告，2008。

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