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碟閥式的新型風門 圖一、碟閥式風門

目 前中、小型排氣風門，普遍均採用圓型單葉片
型式，但此通用型式通常較難達到良好的氣密
要求。因此，為提供更良好的氣密品質，類似水系統
及高真空系統使用碟閥式新型風門(如圖一)，逐漸被
發展與應用。
相較於以往的圓型單葉片風門，當我們使用碟閥
式風門時，除了可以減少安裝空間上的侷限，在設置
成本上也無明顯的增加。同時因其具有良好的氣密性
(如表一可達到AMCA 500D Class I等級)，所以除了
良好的運轉操作性能以外，也因為其洩漏量極低，而
能夠獲得節能的附加價值。

目前在部分台積新建廠區已陸續有碟閥式風門的
使用(如圖二)。
圖二、使用於F15新建廠區的碟閥式排氣風門

新型式2~3吋小型風管與風門

以 往ETFE Coating排氣風管，最小尺寸僅能製作
至4吋 (100A)(如下頁圖三、圖四)，但是實際
於現場裝機時，仍會面臨許多4吋以下的接點需求，
一般的施作方式，都是使用4吋風管配接至使用點
前，再以特殊配件轉換，來進行縮管連接。
以往小型風管與風門製作的瓶頸在於ETFE Coating
文/圖│姚文淙│十二廠六期專案│
的程序中，Powder無法作到良好的塗佈。但近年來
Exhaust Damper Improvement, 廠商已逐漸能克服此一技術上的困難，而開始能製
作出2~3吋小型風管與風門。配合現場接點的實際需
求，開始運用此類小型風管與風門，其效益除了可以
Development and Application in

New Fab Construction 表一、風門測試報告 ，符合AMCA 500D Class I洩漏等級

測試件安裝方式依AMCA 500-D-07 Figure 5 .5
流量量測方式依AMCA 500-D-07 Figure 6.5
排氣系統風門型式發展與新建廠區之應用 測試件尺寸 (直徑) 測試件面積 測試壓力 單位面積
洩漏量
100 mm 0.00785 m 2 6 in-wg cfm/ft2
50
45
在廠務排氣系統的建置過程中，風門與風管為主要的構成元件。若以去年新建完成之十四廠四期廠 測試件總洩漏量 單位面積洩漏量
40
區為例，整個排氣系統的建置總排氣量，約為 3,000,000CMH，其中風管的材料使用總量，達到 cfm cmm cms cfm / ft 2 cmm / m 2 cms / m 2 35
30,000 平方公尺以上。若單就風門的使用量來看，運用於一次配主管路、次主管路與空污處理設備 標準狀態 0.0787 0.0022 0.00004 0.931 0.2838 0.0047 30
III
的大、中型風門，數量約在 250 個；而其他廠務設備的二次配小型風門，則有近 1100 個，這還尚 25
風門洩漏等級判定，依UL555S測試標準 Table 16.1支單位面積洩漏上限規定。 20
未包括後續機台 Move-in 後的 Hook-up 使用量，若加以計算其總量，則更是龐大。因此，風門與風 II
15
管的整體品質與操作性能，攸關廠區的運轉穩定與可靠度。 in-wg Class I II III 10
針對既設廠區運轉上的需求反應，及既往操作上所發現的的缺失改善，我們在此針對目前新廠建置 4.5 8 20 80 5 I
6.5 9.5 24 96
上，來談談排氣系統風門、風管型式的一些應用與發展。 8.5 11 28 112 單位 : cfm / ft 2 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 風門壓差
in-wg

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL http://nfjournal/ July 2011