Page 65 - Vol.03

Special Report 特別企劃 Tech Notes 技術專文 New Visions 新象新知 LOHAS Column 樂活園地
062 063

INTRODUCTION 3 濃度為30%氯化鉀(KCl)水溶液，作為產生氣膠 3 微粒子去除效率測試： 去除效率的測量。
ASHRAE 52.2 介紹 (Aerosol)。 對於實驗供應的粒子數，依下列公式計算去除效 4. 空氣濾網達到終端壓損時，進行量測。
4 符合ASHRAE 52.1粉塵：72% ISO 12103-1 A2 範例：假設濾網初 始壓損7 0 Pa 、終端壓損
率：
粉塵，23%煙灰，5%棉絨。 Ei % = (1-下游通過粒子數/上游通過粒子數)100% 300Pa，當壓損分別為70 Pa、128Pa、185Pa、
制 定空氣濾網對微粒子的過濾性能。主要評估 5 檢測風管組，如圖三。 243Pa和300Pa，進行粉塵捕捉量之計算。
兩種性能：去除空氣中微小粒子（0.3~10.0
6 檢測風管之洩漏率須小於1%氣流量。 在不同的幾何平均粒徑(如表二)下，測得的粒徑效率 每階段完成後都要計算重量與數量的去除效率，
um）的過濾效率和氣流通過濾網的阻力，一般空 值可繪出類似圖五的曲線。
7 控制環境溫度：10~38℃，相對溼度：20~65%。 包括初始、第一次至第五次負載測試等，共六條曲
3
氣濾網的測試風量介於0.22~1.4m /s（472~3,000 其中幾何平均粒徑 di = √(du × dl)
8 控制三組均勻的氣流量：0.22、 0.93、1.4 m3/ 線，測試條件及程序如表三所示。
CFM）之間。
s。 式中du表示最大粒子直徑；dl 表示最小粒子直徑。
使用標準粉塵空氣濾網進行五次捕捉測試，每一 表三、粉塵測試程序表
例：若粒徑的範圍介於0.3~0.4 之間，則
次粉塵捕捉測試，可獲得一組去除效率 (Particle Size
測試數據 di=√( 0.4×0.3) = 0.346 ≈ 0.35 程序 濾網置放 氣膠產生器 粉塵噴入器
Removal Efficiency, PSRE) 性能曲線，以及由未使用
壓差Vs流量 Y Off Off
過的空氣濾網所測得的初始性能曲線，共可獲得六條 1 主要測試項目為： 圖五、粒徑及效率變化的曲線
曲線，取這些曲線在不同粒徑的最低值，組成一條 ● 初始濾網濾材的壓損測試。 100.0 初始去除效率測試 Y On Off
最低性能曲線。再將粒徑區分為三個區間(E1、E2、 ● 微粒子去除效率測試。 80.0 Initial 第一次粉塵捕捉 Y Off On
1st
E3)，各區間取平均值，定義為空氣濾網等級的最低 ● 粉塵去除效率測試。 60.0 2nd 去除效率測試 Y On Off
效率測試值 (Minimum Efficiency Reporting Value, 3th 第二次粉塵捕捉 Y Off On
40.0 4th
MERV)。 2 初始濾網的壓損測試： 去除效率測試 Y On Off
20.0 5th
在一定的氣流速率下，測試乾淨濾網的壓損 第三次粉塵捕捉 Y Off On
測試之設備與器材 0.0 0.35 0.47 0.62 0.84 1.14 1.44 1.88 2.57 3.46 4.69 6.2 8.37
（Pa）。再變更氣流速率為50%、75%、100%和 去除效率測試 Y On Off
1 準備受測濾網樣本610 x 610 mm，並均分為九個 125%並記錄這些流速下的壓損值，即可繪製出類似 第四次粉塵捕捉 Y Off On
區域，如圖二[1]。 圖四的濾網壓損及流速變化曲線。 去除效率測試 Y On Off
粉塵去除效率測試：
2 微粒計數器，計數範圍如表二。 第五次粉塵捕捉 Y Off On
在測試過程中，隨著粉塵逐漸累積在濾網上，濾
去除效率測試 Y On Off
網壓損和效率亦隨時變化，必須適當調整粉塵噴入機
3
的噴入量，使測試箱體內的濃度維持在70mg /m ，
圖二、測試之設備與器材 圖三、測試風管架構圖
直到濾網的壓損達到標準設定值，計算濾網捕捉的粉 當粉塵捕捉測試達到某一階段的壓損後，從測試
610mm(24 in) 19 塵量。每個量測階段如下：
3 機台內取出末端濾網進行秤重，增加的重量代表穿過
18 10
17 11 9 1. 空氣濾網尚未進行捕捉測試前，進行粉塵量測。 測試樣品的粉塵重量。空氣濾網完成粉塵測試後，所
6 15 2. 噴入粉塵達30克，或濾網壓損增加10Pa，進行第 增加的重量即為最大粉塵捕捉量。
1 2 3 5 9 10
7 14 一次粉塵量測。 經粉塵測試後，可獲得完整的效率數據，如表
610mm(24 in) 4 5 6 8 3. 當終端壓損與初始壓損差異，到達25%（第二 四，由表找出每個粒徑中最小的過濾效率(PSE)值，
4
3
2
1
依不同的粒徑區分為3個群組，並計算得3個平均過
次）、50%（第三次）、75%（第四次），進行
1.風機 2.流量控制閥 3.濾網區 4.置換 5.氣膠噴入管 6.氣膠產生器 7.粉塵噴入管
8.粉塵產生器 9.混合孔口 10.外插式擴散板 11.取樣管位置 12.靜壓頭位置
13.壓力計 14.空氣濾網與換氣 15.末級濾網 16.垂直壓力計 17.主要氣流量測嘴
7 8 9
18.置換 19.彎管（可選擇性）
表四、過濾效率測試值
表二、微粒計數器粒徑範圍表
圖四、濾網壓損及流速變化的曲線 粒徑(μm) 0.3~0.4 0.4~0.55 0.55~0.7 0.7~1.0 1.0~1.3 1.3~1.6 1.6~2.2 2.2~3.0 3.0~4.0 4.0~5.5 5.5~7.0 7.0~10
粒徑(μm)
範圍 平均粒徑(μm)
下限 上限 "平均粒徑
1 0.30 0.40 0.35 180 (μm)" 0.35 0.47 0.62 0.84 1.14 1.44 1.88 2.57 3.46 4.69 6.2 8.37
2 0.40 0.55 0.47 150 Initial 7.7 8.9 11.0 16.0 24.8 29.0 36.0 41.0 41.5 38.0 44.0 52.0
3 0.55 0.70 0.62
4 0.70 1.00 0.84 120 1st 2.8 4.8 15.0 26.0 47.0 60.0 73.0 78.0 85.0 91.0 92.0 96.0
5 1.00 1.30 1.14
6 1.30 1.60 1.44 90 2nd 8.9 16.5 28.0 44.0 68.0 80.0 90.0 94.0 96.0 98.0 99.0 99.5
7 1.60 2.20 1.88
8 2.20 3.00 2.57 60 3th 12.0 25.0 35.0 56.0 80.0 86.0 94.0 96.0 98.0 98.5 99.5 100.0
9 3.00 4.00 3.46 4th 20.0 24.5 48.0 68.0 84.0 90.0 96.0 97.0 99.0 99.5 100.0 100.0
10 4.00 5.50 4.69 30
11 5.50 7.00 6.20 0 5th 22.5 36.0 55.0 76.0 89.0 94.0 97.0 98.0 98.5 99.5 100.0 100.0
12 7.00 10.00 8.37 50 75 100 125
最小PSE 2.8 4.8 11 16 24.8 29 36 41 41.5 38 44 52

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL http://nfjournal/ July 2011