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圖一a (左)、CDSEM檢測點會有跳動現象
圖一b (右)、CDSEM檢測點會有跳動現象致使測量線寬時大於上限標準值
圖二a (左)、辦公室內cable tray產生的磁場
圖二 b (中)、2層磁場防護貼板貼在cable tray外殼
圖二c (右)、2層家用鋁箔紙貼在cable tray外殼
文│于淳│研究專案部│
Passive EMI Shielding
Approach for CDSEM
以被動屏蔽(passive shielding)方式解決
CDSEM受低頻磁場干擾之案例 12P4三樓無塵室的GPCD20是用來檢測微影後40nm樣品線寬的電子
F顯微鏡，當以300volt操作時，檢測點會有跳動現象(圖一a)，致使測
量線寬時大於上限標準值(圖一b)。
在機台受電磁波影響後，設備工程師便向電子顯微鏡的設備廠商反應，
廠商隨即提供市售磁場防護貼板[1]用來貼在電子顯微鏡機台外殼裡，但
于淳 Chwen Yu
改善效果不彰。筆者用辦公室內cable tray產生的磁場(60 Hz)，來檢測磁
臺大物理博士，之前在中
在第一期的新工季刊中，曾介紹關於電子束作業機台受低頻磁場干擾與防治的相關理論 場防護貼板其隔磁效果(圖二)。各將1層和2層磁場防護貼板貼在cable tray 央研究院物理所從事奈米
外殼，即可達12dB和18dB (18dB表示可將磁場由80mG降低至10 mG)的 磁性元件物性研究，喜好
和方法，本期筆者將以在 F12P4 跟微影設備工程師一同用被動屏蔽來解決受低頻磁場
隔磁效果，筆者另外以家用鋁箔紙來做相同測試，但磁場並無明顯減少。 戶外活動，金庸武俠小說
干擾的 CD-SEM 為例，與大家經驗分享。 與西洋老歌。
NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL http://nfjournal/ July 2011
