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NEW FAB ENGINEERING
CONTENTS
SPECIAL REPORT / New ideas and techniques
to be implemented in future fab facility
SPECIAL
REPORT
005
半導體廠鹼性廢水的回收與資源再利用技術
007
Recycling of Alkaline Wastewater from Semiconductor Plant
丁瑞華/新廠營建部、陳國益/兆聯實業股份有限公司
解決壓降的新選擇 淺談動態壓降校正器
012 The New Solution to Voltage Sag, Preliminary Analysis on DySC
張清淦/十五廠三期專案、魯建文/安葆國際實業股份有限公司
外氣空調箱循環迴路盤管構型介紹
018 Introduction of run-around coil in MAU
陳芳明/十五廠三期專案
高科技廠房消防安全設備─
024 二氧化碳自動滅火高壓/低壓系統選用評估研究
Evaluation of the High/Low Pressure CO 2 system for High Tech Factories
吳采蕪/十五廠三期專案
038
創新型空調冰水系統 多核心分工節能設計及運轉最佳化
Innovative Air Condition Chilled Water System Multi-Core Concept Implementation
of Energy Efficient Design and Operational Optimization
張智能 徐岳聖 黃俊銘 蕭博戎 唐炳順 朱良堃 胡毓堂 吳孝修/三廠廠務部
NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL JULY 2012 3
