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Special
Report
特別企劃

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文│丁瑞華 陳國益 │ 新廠營建部 兆聯實業股份有限公司│

Recycling

of
Alkaline

Wastewater from

Semiconductor Plant

半導體廠鹼性廢水的回收

與資源再利用技術

含氨 (Ammonia) 的鹼性廢水是半導體廠棘手的問題，因為水中除了氨
外，往往還伴隨著高濃度的雙氧水。以回收的方式來濃縮廢水中的氨，
並導入脫氣膜 (Membrane Degasifier) 與硫酸反應生成硫酸氨。硫酸氨可
再回收當成工業化產品使用，或再製成氨水及其它工業原料。

前言

半導體廠的鹼性排放廢水常含有高濃度的氨與雙氧水，具有污染濃度
高、生物毒性高等特性。隨著目前政府所新訂定的放流水總氮濃度，
既有廠區須小於 20 mg/l，新設廠區須小於 10 mg/l 的規定即將實施，
因此含氨氮廢水的處理是台灣各半導體公司刻不容緩所需面對的。
面對廢水處理問題，最好的處理方法就是回收處理。公司高度重視各
廠區的節水問題，與長期合作的協力商發展出一套以回收為前題的氨
氮處理技術，它不僅可以克服鹼性廢水中高濃度的 H 2 O 2 所造成的氧化
破壞問題，並可將廢水中的氨去除，回收後的廢水可供廠內次級用水
或製程使用。回收水過程中分離濃縮所獲得的高濃度含氨化合物，可
以進一步於廠外濃縮精製變成 21% 的氨水回收再利用，達到最大程度
的綠色處理。

丁瑞華 Howard Ting 陳國益 Frank Chen
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