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用
                                         Tools utility matrix
                      Golden                                     Hookup   Hookup    Hookup
                      tools          RD    Operation  Past        PRS     As-built   QC Report
                                    New type  Fab  Project


                                                                                                    Data
                                                                                                  Application
                     程                       Data                          Data
                     tools list              Base                          Verify




                   機




                機台需求

               機台      機



                        機台需求











                 式


              機台   機
                          需求
                                                                               求
                     機                          需    機台      需                              機台
                                               求                               需求   機台  需求



                                                                   機台
                                                      台

              系統再精進
                                                 機台需求
                                                                               機
              機台需求 (Utility)

              資料庫建立

                                                                                                   機
                                                        機台                                 機台
                                                       機    需                    機



                                                                               NEW FAB ENGINEERING JOURNAL         MARCH 2014  47
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