Page 48 - Vol.13

Tech
Notes

式
Hookup QC Report Hookup As-built Hookup PRS

台 eHookup Site Hookup Server iHookup

機台 機台 機 機台 機 機
台 機
機台 機 機台需求 機
機

機

機台需求 7. Specialty Gas Requirement
機台
需求

需求
機台需求
需求

機台
機台
機台
機台

機台
機台 需求
機台 台

需求
需 機
02
需求 需求 機台 4%N2H2
CF4
機台
7. Specialty Gas Requirement
機台 機台

台 CF4 1/2” 300SCCM 60PSI 4%N2H2 1/4” 10000SCCM 60PSI 02 1/2” 50000 SCCM 70PSI
機台
機台需求 機台需求

機台
機台
機台需求

機台 機

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