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5D 裝機之應用






                                                                                                      機


                                                                                   機

                                                                                    機




                                                                                              台





                                                                                           台

                                                                                                        台
                                                                                        機










                           期

                                                                                 機
                New Fab Project Life Cycle

                           Design Phase       Construction Phase  Tool Installation Phase
                                                                                    機
                                                                                           機

                           5D       5D
                 5D


                                                                                       需求

                        Merge Layout  Port arrangement



                                                                                  機
                                                 2D
                                                Hook Up Design







                                                                               NEW FAB ENGINEERING JOURNAL         MARCH 2014  55
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