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Tech
Notes

Gas Yard H 2 Trailer H 2 Zone 2 IIC T1
NH 3 Room NH 3 Zone 2 IIC T1
Flammable Gas Room 65%PH 3 /H 2 Zone 2 IIC T6

Natural Gas Station CH 4 Zone 2 IIA T1
SiH 4 BSGS SiH 4 Zone 2 IIC T1
H 2 Tube/Purifier Room H 2 Zone 2 IIC T1
Underground Diesel Tank room Diesel Zone 2 (Inside Tank:Zone 0) IIA T4

CUP Diesel Tank room Diesel Zone 2 IIA T4
FAB Solvent Storage Room Solvent Zone 2 (Inside Ditch: Zone 1) IIA T3
Solvent Dispensing Room Solvent Zone 2 (Inside Ditch: Zone 1) IIA T3
SiH 2 Cl 2 (DCS) Dispensing Room SiH 2 Cl 2 (DCS) Zone 2 IIC T6

PH 3 Dispensing Room PH 3 Zone 2 IIC T6
Flammable Gas Dispensing Room 65%PH 3 /H 2 Zone 2 IIC T6
Toxic and Flammable Gas Dispensing Room PH 3 Zone 2 IIC T6
區 SiHCl 3 (TCS) Zone 2 IIC T5
SCAD (Gas) PH 3 Zone 2 IIC T6

1 N 2 ( 50Pa )
出 電

2 電 CDA 電 行 (timer)
(Purge) 體 電

3 當 體 出 出 ：
(Purge) (1)當 (door sensor ) CDA

(2) 體 CDA 電
4 台

5 台
6 出 區
區
7 / 有
(Door sensor)

8 體 電
(interlock)

9 製 台
10 安 (Safety Barrier) 安 限 電 電 電路 限 學 區
力 / / 路 安

2 6