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HFD Drain 500CMD
LSD LSD Buffer RO Supply
Drain Tank Module Tank
LSR ROR (RO ) 110mg/L
990CMD RCW / LSS
AOR AOR Buffer RO Product
Drain Tank Module Tank
150mg/L
AOR ROR (RO ) 300CMD
120CMD (NH 4) 2SO 4 Lorry out
NH 4F / AEX MD Circulation Storage Tank
Drain Module Tank
Effluent
Tank HFD
Waste water
126mg/L 190CMD System
Polymer
H 3PO 4 MgCl 2
180CMD MAP Buffer Reaction Reaction Flocculation Counterflow Effluent
Tank Tank 1 Tank 2 Chamber Clarifier Tank
138mg/L
Ca 5(PO 4) 3F MgNH 4PO 4
行廠區 處 力
力
行廠區
MAP (mg/L) 138
(min) 20
參考文獻
90% 80% 70% 60% [1] Chang. F.J., Tsai, Y.H., Chen, P.A.,
Alexandra C., Georges V., 2015.
MAP (mg/L) 13.8 27.6 41.4 55.2 Modeling water quality in an urban river
using hydrological factors – Data driven
2+
+
3-
NH 4 : PO 4 : Mg 135:2390:902 135:2390:642 135:2390:596 135:2390:528 approaches. Journal of Environmental
Management 151, 87-96.
+
NH 4 : H 3 PO 4 : MgCl 2 1 : 18.3 : 26.2 1 : 18.3 : 18.8 1: 18.3 : 17.3 1 : 18.3 : 15.3 [2] 林 林 陳 黃
安 2014 中
2+
+
3-
NH 4 : PO 4 : Mg 1 : 3.4 : 5.0 1 : 3.4 : 3.6 1 : 3.4 : 3.3 1 : 3.4 : 2.9 科學園區
廠 中 究 中
HFD System 51.7 華民國 學 2014 處
(mg/L)
[3] 2014 新
HFD System 55.5 59.5 63.4 67.3 台積電 期新
(mg/L) 刊 13-19
[4] 陳 國 2013
廠A (mg/L) 28.0 29.2 30.5 31.8 MAP 處
中國 期
廠B (mg/L) 21.5 22.7 24.0 25.3 [5] 2013
處
85% 日 (CMD) 1.06 1.06 1.06 1.06 究 Vol.23 No.6
[6] 2010 MAP
GC日 (CMD) 1.2 ~ 1.5 處 究
Vol.29 No.5
10% 日 (CMD) 13.1 9.3 8.6 7.6
[7] 偉 2009
學 處
日 (NTD) $119,855 $119,855 $119,855 $119,855 究 Vol.28 No.1
[8] 安華 體 2007
日 (NTD) $95,435 $67,885 $63,023 $55,821 學 中
科 學學 Vol.29 No.6
&PID 日 $48,676 $40,234 $39,871 $39,349
(NTD) [9] 生 2005
NH 3 -N 素
究 學 Vol.24 No.6
NEW FAB ENGINEERING JOURNAL SEPTEMBER 2015 43