Page 47 - Vol.19
P. 47

Gas streamlines        interception


                                                                    有             90%  廠       0.6 kg/hr


                                                                                  90%  廠       0.02 kg/hr
                                                                                      95%      廠
                                                                             0.6 kg/hr
                                       Water      Center line
                                       droplet
                                                                                  95%  廠       0.1 kg/hr









                                                                                 ph
                                                                                     pH             >7
                                                                                 Humidity factor
                                                                                                        2
                                                                                                    >0.1 m /hr
                                                                                 Packing specific surface area
                                                                                                        2
                                                                                        積           >90 m /m 3
                                                                                 Gas stay time
                                                                                                    >0.5 sec



                                                                                       行
                                                                                    限       務

                                                                                      期  出
                                                                                       新
                                                                                   廠  體製
                                                                                  出         體製
                                                                                  處          有
                                                                               廠區 有     台   新


                                                                                       新 廠區新



                                       m      0
                                                                                期  廠區

                                                                                  限
              台積電廠務               生  出   公



                                                                                     生 學     處
              研究方法                                                                 體        體中

                 究                         行



                                                                              NEW FAB ENGINEERING JOURNAL          SEPTEMBER  2015  47
   42   43   44   45   46   47   48   49   50   51   52