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有 路 路
設計方式 優點 缺點

安

製 造 路
體
PN2
造 製

b

b
製造 Length (m)
(mm)
OD×WT 30 50 100 150 200
路
區
6.35×1.0 中 中
Under trial Under trial 出
製 體 有 路
9.53×1.0
年限
12.7×1.0

製

製
路 有

Fab
體 路 路

置

Coil Tube Coil Tube
安
處 行

置 置
Sub Fab

VMB
體 路

造 a

置
Gas Room b

有
有 出

製

b b

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL SEPTEMBER 2015 5 5