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Subject 4 Coiled Tube 100
≤ 6 hours ≤ 2 hours
1×10-9 atm Cc/sec 1×10-9 atm Cc/sec
26 2
≤ 36 hours ≤ 8 hours
≤ 10 ppb ≤ 10 ppb
≤ 10 ppb ≤ 10 ppb
0.1 m ≤ 0 pcs/scf 0.1 m ≤ 0 pcs/scf
安 體 行
行
所
體 中 中 公
行 行
b 行
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有 出
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b 製
中 出
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NEW FAB ENGINEERING JOURNAL SEPTEMBER 2015 5 9
