Page 76 - Vol.19

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Vision

Solvent exhaust VOCs VEX
ACT-690C, NMP vapor system
Condenser
Waste heat GEX
Chemical Process Tools
Supply
Alkaline vapor (NH 4OH) NH 4OH
scrubber AEX
Acid vapor
Central
Treated scrubber SEX
gas
Gas Gas
supply supply Tools Pumping Local Fan Stack
VMB Chamber scrubber
Ventilation
Purge Treated gas
Gas Cabinet
Dry scrubber Ventilation

葉

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造 葉
力

逆 風門 原
行
生

中 行

7 6