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圖三、傳輸線效應圖波波形 圖四、非線性電阻所引起之電流失真

CH 1 Zoom: 1.0X Vert 0.01X Horz

Peak:167% I (t)
T

Nonlinear Resistor

V (t) V

CH1 500V M5.0µs CH1 ∫ 830V
I

圖五、電力諧波傅立葉級數分析奇次諧波組成

(PU)
1.5
1.0
0.5
0.0
0.000 0.017
(PU) (0.5) (Time)
1.5
(1.0)
60Hz
(1.5)
1.0
(PU)
1.5
0.5 1.0
0.5

0.0 0.0 0.000 0.017
0.000 0.015 (0.5) (Time)
(Time)
(1.0)
(0.5)
(1.5) 180Hz
(PU)
(1.0) 1.5
1.0
60Hz+180Hz+300Hz
(1.5) 0.5
0.0
0.000 0.017
(Time)
(0.5)
(1.0)
300Hz
(1.5)

曲線所示。雖然所加入的電壓是一 波電流經系統阻抗，導致負載端產 各個奇數倍頻率組成，如 圖五 所
個完美的正弦波，但是產生的電流 生諧波電壓。將這些電力諧波進行 示。在半導體廠配電系統中，產生
卻是失真的正弦波。這些失真的諧 傅立葉級數分析，可知諧波主要由 諧波之汙染源包括變頻馬達與非線

300mm FABS FACILITY JOURNAL MARCH 2016 29