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Tech
             Notes
             技術專文


             表三、整流器比較表


                       6 脈衝整流器                      12 脈衝整流器                     高頻IGBT整流器

                 電路



                                                    30°






                 波形









                 電流諧波 32-36% (6n ± 1)               12-15% (12n ± 1)             <3%

                 電壓凹陷 大                             小                            無




            目前半導體廠很大挑戰,即時發現
                                             圖十七、VFD 電力諧波量測圖
            汙染來源並迅速有效隔離,可以快
            速復原生產線。
                                                             P7C10Q-5CH5-VFD-E4-06
            機台案件二:進入先進製程後,發
                                                     LBS 3P
            現電力雜訊會影響機台量測可靠度                          300A
            與準確度,在需特別進行雜訊隔離
            改善。依據經驗提出 3 種雜訊改善
                                                   ISL
            方案進行試驗。方案一為加裝隔離
            變壓器和使用一般電纜;方案二為
                                                   P-FUSE  LBS 3P
            加裝隔離變壓器和使用遮蔽電纜;                        315A   125A
            方案三僅使用遮蔽電纜;其中隔離
            變壓器獨立接地,與電力系統獨立                              MC
                                                         95A
            接地,其架構如 圖十九所示。我們                     VFD
                                                         FL
            總計測試 3 台機台,分別以三種方
            式進行驗機測試,得到結果如 表五
                                                        3 30  3 30  3  30  3 30
                                                                     50
                                                                          50
                                                               50
                                                         50
            所示,其中方式一機台全數通過,
            方案二部分機台通過,因此採用方
                                                       SC
                                                             SC
                                                                        SC
                                                                   SC
            式一架構,增加隔離變壓器提升量                           16KVAR 16KVAR 16KVAR 16KVAR
            測可靠度。
                                             以有效防護。但是近幾年來電力電                 用;加上先進製程演進,機台要求
            結論                               子元件逐漸普及,追求高效率、低                 高穩定與高精確度效能。在追求設
                                             損耗性能產品接踵推出,電力電子                 備效能同時,又要維持電力系統穩
                                             元件大量被使用;同時工廠內先進                 定,成為供電系統穩定運轉的重要
            多年電力系統運轉經驗,對於傳統                  製程需要,使用各種高速加熱設備                 挑戰。近年來,電力課針對電力品
            雷擊、斷路器開關操作的突波多可                  與射頻產生器 (RF) 等特殊負載應              質,持續累積各種雜訊防護經驗,



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