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績效指標 計算項 變因 建議週期 目的
類別
全廠 總耗能量 耗能量 各種產品產量、 日/ 月 建立總耗能與各種產品產量的相關性基線
原料投入量
全廠 單位產品耗能量 耗能量 / 產量 產量、室外溫度、 日/ 月 建立全廠性單位產品能耗基線
工作時數、原料投入量
生產線 單位產品耗能量 耗能量 / 產量 產量、室外溫度、 日/ 月 建立各產線的單位產品能耗基線
工作時數、產品別

生產線 PUE 能源使用效率 全區耗能 / 主要設 產量、室外溫度 日/ 月 建立主要設備的耗能基線
備耗能
系統 空壓機系統、 耗能量 產品產量、溫度 日/ 月 建立公用系統耗能量與產品產量的相對關
冰機系統、
排風機系統
系統 空壓機系統、 耗能量 / 設備 設備 output、產品產量、 日/ 月 建立設備本身的效率基線
冰機系統、 output 溫度
排風機系統

表一、常用典型能源績效指標

沒有數據就無法管理
-1004.89782180039*AA
耗能 +160.516700386866*AC 變因
迴路安裝
歷史 -1414.08643651308*AD 生產(工廠)
數位電錶 +3.83337314647853*X
數據 +116831.342031483 數據
即時數據取得 能耗數學模型

數據分析
推估合理的
基線 耗能量
績效指標 (EnPI) Baseline
推估值
實際值
ECPU = PUE = EUI = 比較以確認
各區耗能 全區耗能 各區耗能 是否有異常?
生產量 主要設備耗能 樓地板面積

行動方案
透過指標的驅動力

圖三、能耗基線模型運作機制

為能耗數學模型，推估出合理的 EnPI 數值，而這個手法在 能源基線模型
ISO-50001 稱之為基線（Baseline）。將所推估的數值與實
際電錶及或其他流量表計等等所讀到的數據做比對，確認 到能源基線最大的用途是
是否異常（如 圖三）並進行即時監控與管理。 談 要解決傳統能源管理不容

一個好的能源管理系統要具備能耗數學模型的運作機制， 易克服的問題：其一是在不同
將所有可能的變因匯入系統自動進行分析。當生產線變動 基準比較，以廠級 ECPU 來說，
或機台的性能改變時，可以即時更新模型，維持 EnPI 與 Kw/Wafer move ( 每 個 wafer
Baseline 仍可以準確的監控能源使用狀況與預警異常狀況 move 所耗用的電能 ) 嚴格來說
( 如 圖四 )。 冬天跟夏天不能直接互相比較

300mm FABS FACILITY JOURNAL MARCH 2016 81