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圖 2、P 波傳遞速度接近 S 波速度的兩倍，離震央越遠，爭取秒數越多（圖片取自國家地震中心）

200
0 10 km
-200 P波
200 S波
100 20 km
0
100
100
50
0 40 km
-50
-100
10 0 60 km
重力加速度(伽) -10 5
15
10
-5
-10 0 80 km
2
0 120 km
-2
0.5
0.0 160 km
-0.5
0.5
0.0 200 km
-0.5
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100
時間（秒）

表 1、區域型與現地型地震預警系統比較

預警系統 預估規模 預估震央 場址效應 發出警報所需時間 ( 秒 ) 盲區(公里) 地震儀數量

區域型 V V V 島內：15.3+/- 0.9 60~70 全省 149 個
島外：18.5+/- 2.4

現地型 X X X 3.1 10~20 每廠區 3 個

度，由於不需考慮地震規模、震央 整體的速度能量IV2)以支撐向量 台積公司地震預警
位置、場址效應，不只計算時間較 迴歸法(Support vector regression
短，同時因考慮變數變少，準確率 method) 預估S波的震度，目前已 系統的演進
[8]
也較高。現地型地震預警系統較知 於21所學校架設主機作為緊急疏散
名的是由Nakamura所創立的公司
用(每個主機視區域地質條件可涵 半導體機台普遍受到震度三級以上
SDR (System and Data Research
蓋一定範圍，主機附近學校只要連 的地震就會造成不同程度的影響，
Co.)所出產的FREQL與AcCo系 敏感性機台如scanner更時常受到
動廣播系統即可)。
統， Nakamura於1998年提出 小於二級地震甚或無感地震就當
以中央氣象局的區域型地震預
DI (Destructive Intensity)，2003 機。因工廠都是自動化生產，若能
年再提出RI (Realtime Seis-mic 警系統(eBEAR, The Earthworm 引進地震預警系統，在地震發生時
Intensity)，以此二指標作為預警的 Based Earthquake Alarm Reporting 立刻得知，並即時預估出地震到達
基準；台灣的國家地震中心則考慮 System) [10] 和國家地震中心的現地 工廠時的震度，透過自動化電腦，
P波前3秒的6個參數(最大加速度 型地震預警系統比較如 表1所示。 立即暫停生產、將wafer放回foup
Pa、最大速度Pv、最大位移Pd、主 內等保護動作，那麼就可大幅減少
要周期Tc、累積的絕對速度CAV、 損失。

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2016 9