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圖9、共用供應系統架構

Module Tool
and EUV Tool

DCS

12C Chill Water Supply
From UPW Chill Water Return New Vision
system
PT
VSD
PT DCS
Expansion PT
TT Vessels HEX
新/象/新/知
TT
PT
Filter
CI PH HEX
特殊製程氣體之品質監測系統開發
TT
Development of the Quality Check System for Specialty Gases
Filter TT
To RCW HEX PT
FIQ
TT

性的不適用，並以較大的系統循環
圖10、共同架構水量/壓差/溫度變化 trend chart
量補足PI控制器的不足，改善後可
取得壓力變化減少72%，溫度變化
減緩70%。

供應溫度：17+/-0.15度

供應壓差：4.5+/-0.05Kg/cm 2

流量減少約100CMH

參考文獻
表 3、獨立與共同架構測試數據
[1] 維基百科，莫爾定律， https://zh.wikipe
dia.org/wiki/摩爾定律
[2] Semiconductor Engineering, Looming PCW壓差與溫度影響 獨立系統架構(Buffer小) 共用系統架構(Buffer大)
Issues And Tradeoffs For EUV, https://
semiengineering.com/issues-and- PCW壓差OOC Spec (kg/cm ) 2 0.5
tradeoffs-for-euv/
[3] From Irrigation in the Pacific Northwest, PCW壓差Alarm SP (kg/cm ) 2 0.25
Water Hammer Calculators, http:// 水錘對壓差影響 (kg/cm ) 2 0.25 0.07
irrigation.wsu.edu/Content/Calculators/
General/Water-Hammer.php PCW溫度OOC Spec (°C) 1
[4] 維基百科，水錘作用，https://zh.wikipe
dia.org/wiki/水錘作用 PCW溫度Alarm SP (°C) 0.5
[5] 維基百科，PID，https://zh.wikipedia. 非連續回水溫度對供應溫度影響 (°C) 0.5 0.15
org/wiki/PID控制器

特殊製程氣體之品質監控系統(SGQCS) 圖片提供/信紘科技 影像處理/洪湘寧