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Tech
Notes
技術專文
The Study of
Water
Hammer
Effect
on Process Cooling
Water Improvement
in High Flow Tool
大用水量機台之水槌效應
於製程冷卻水之研究改善
前言
黃光微影技術 (Lithography)是半導體產業重要的關鍵步驟，如何將設計好的
圖案，清楚且完整的轉移到光阻上，就成了最棘手的問題。通常，電晶體線
竹科十二廠四期製程冷卻水供應系統 攝影 / 洪湘寧 寬的大小與曝光光源波長成正比關係，線寬越小波長也必須越小，所以，顯
影技術都朝著降低光源波長的方法進行，當電晶體尺度微縮到幾十奈米時，
Abstract 與供應溫度變化的影響。改善方式針對現有系統所適用的比例積分微分 (PID) 控制器進行檢視，並依 體電路上可容納的電晶體（晶体管）數目，約每隔兩年便會增加一倍，短波
製程冷卻水（PCW）用途為供應製程冷卻水，將製程機台所產生的熱量透過熱交換方式帶走。本文
[1]
就像用粗毛筆寫蠅頭小字，生產起來有點力不從心。摩爾定律 所言，圖1積
將探討如何改善高用水量機台觸發緊急停止 (EMO,Emergency Off) 時，對 PCW 系統產生水錘效應
長(13.5nm)微影技術就被視為摩爾定律能持續往下走的關鍵。
照水槌衝擊波公式提出緩衝水槌方法，改善結果可觀察到壓差與溫度變化可減少水錘效應壓力衝擊
72%，溫度變化減緩 70%。
國成功大學化學工程研究所畢業。
憲
忠
關鍵詞／製程冷卻水、比例積分微分、水錘
轉眼間已是十二年的光陰，由少年變父親，一切都在改變但又
目前於竹科十二廠四 / 五期水課，台積電是一個充
Keywords/ PCW(Process Cooling Water), PID(proportional-integral-derivative), Water Hammer
滿挑戰的地方，挑戰本身就代表一種成長的機會，
像昨天才發生的事情般，不知不覺已把工作當成生活的一部分 義 庭 簡 Wilson Chien 臺灣大學工程科學及海洋工程所畢業。
文│謝忠憲 簡義庭│竹科廠務五部│ ，感謝前輩提攜與同儕的共勉，造就這段時間的成長與歷練。 當克服了挑戰，代表又往人生更好的階段邁進。
謝 C.H. Hsieh
72 300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2018 73
