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 圖4、新式高效率除霧器  圖6、半導體廠的重金屬處理系統


                    Co ECP
                      稀       50mg/L Co  稀_          ACF    UF(預留)       樹脂(串聯)         化混           Effluent
                                        硫酸鈷        (除H 2O 2)  (除slurry)   (除Co)         (除B)
                    Co CMP
                                                                       Co去除率 >95%    B去除率 >45%    Co < 2.3ppb
                                                                                                   B < 1ppm
                                     0.3% Co                          1~2% Co
                    Co ECP               濃_             0.3% Co            電鍍
                      濃                 硫酸鈷                               (回收)
                                                                       Co去除率 >95%




                                                                               另外要繼續研究的課題，是樹脂濃
              表 14、各股廢水的 TUa 處理方式 TUa
                                                                               縮脫附出來的濃液的處理方式，所
                                                                               有的重金屬是否可進行電解回收，
                廢水種類    氟酸排水   鹼性含氨      空調冷卻排水    純水再生    回收RO濃   回收樹脂
 圖5、半導體廠的生物處理系統                排水                  排水      排水      再生排水        或是此方式是最佳方式，還需更多
                                                                               的研究以資確認。

                優先順序    4      3         1         2       4       4
 活性污泥法+MBR+RO  活性污泥  MBR  RO
                                                                               環境零衝擊
                            +
                          2-
                                                             2-
                                                    -
                                                                       +
                                                                     2-
                                 2-
                主要毒性    SO 4 /Na /  SO 4 /Na +  1/二氯氨  Cl /Na +  SO 4 / Cl-  SO 4 /Na /Cu
 AOR                       2+
                物       Cl-/Ca           (結合餘氯)
                                                                               如何以經濟有效方式，降低導電度
 除COD  固/液分離  TOC < 1mg/L
                        導電度    導電度       殺菌劑       導電度     殺菌劑     導電度         及生物急毒性(TUa)至750μs/cm及
                                                                               1.0以下，近似於零排放手法，是
 活性污泥法+MBR  活性污泥  MBR  來源  藥液CaCl 2  藥液  殺菌藥劑      再生藥液    殺菌藥劑    再生藥液
                                         水含微量氨氮    HCl+NaOH  藥液調整  H 2 SO 4 +NaOH  很大挑戰。導電度及TUa實質上是
                               NaOH+H 2 SO 4
 Salix                                                                         互相影響，其中任何一個降，另一
 COD去除率 >97%    可行處理    生物系統   MD & stripper  活性碳系統  濃廢液回收 生物系統    濃液液回收
 除NH 3-N+COD  固/液分離  Acetone < 5mg/L; TN < 15mg/L  方法  處理  生物系統處理 處理  直接排放  處理  直接排放  個的數值亦會有不同程度的降低。
                                                                               將先討論相對較易達成的(TUa)。
 化混+活性污泥法+MBR  化混  活性污泥  MBR
 HFD          圖7、預估各股排放水處理後的TUa值                                               －降低生物急毒性的可行技術
 LSR-ROR  COD去除率 >97%
 Salix  除F  除NH 3-N+COD  固/液分離  Acetone < 5mg/L; TN < 15mg/L                   以目前廠內調查各股水的TUa值，
                              TUr                                              目前的優先順序應該是:  冷卻水塔
                           58  58
                              (水蚤)
                                                                               的排放水→純水再生廢液→氨氮
                                                                               MD廢水→最終排放水。各股廢水
 未來新廠針對酸鹼有機混排的可  機物的設計去除效率將從目前96%  對於一般管制項目(生化需氧量、  去除C/T                      的TUa處理方式，整理如 表14 。
 行技術，主要是在開發新式現址  提昇至98%，削減50%的排放量。  化學需氧量)，目前較成熟應該是  18
                                              去除純水再生
 式處理設備，將酸鹼性物質先行  因沸石濃縮轉輪已是非常高效率的  生物處理法，主要在其可去除有機  12                          而預估各股廢水TUa改善後的成
 處理，揮發性有機物然後再導入  處理設備，未來十年，如要達到去  物污染，新廠設計已採用生物處理     降低導電度                    效，如  圖7。由此表亦可知，除冷
 沸石濃縮轉輪燃燒塔燒掉；先前  除效率99.5%，可行技術應從沸石  系統，如  圖5。目前在F15P5試車  5.0                   卻水塔的排放水外，其他的廢水
 所提的超重力技術也據稱可去除  濃縮轉輪燃燒塔的基本架構圖、運  已有相當成效，有機物去除達97%    <1.43  導入生物系統            的生物急毒性來自其導電度，因此
 空氣中的IPA(半導體揮發性有機物  轉參數與定期保養發展。  以上，未來將持續優化，擴大至酸                               降導是也降低生物急毒性的必要措
 主要組成)；也有研究 [15] 是在濕式                                                          施。
 目前再脫附溫度、風量與燃燒溫  鹼性廢水中的有機物處理。
 填充洗滌塔，添加觸媒於洗滌液
 度、風量，都有最佳化的空間；另                                                               －降導的可行技術(零排放的先期作業)
 中，揮發性有機物去除總效率可達   生物處理系統雖為業界普遍使用，
 外在沸石轉輪的定期再生，也有許
 87.29%。  但其微生物馴養期長(需3個月以                                                      目前較成熟的脫鹽單元大都為薄膜
 多研究，有高溫熱氣活化，也有高                                                               技術，如ED、RO等，且可達到一
 或許未來將超重力技術合併觸媒的  上)，故如何有效快速增加生物處
 溫氮氣活化，這些應用在風險評估                                                               定之脫鹽效果，但其他如低耗能
 應用在現址式處理設備，是未來酸  理池內懸浮性污泥濃度，以提升系  重金屬管制項目    低於偵測極限(2.3ppb)  ，如 圖6。
 後，應該早日導入設計。                                                                   之MD也是極有潛力之新技術。以
 鹼有機混排研究的方向。  統效能為主要需克服點。                     但目前有些是有重金屬(銅、砷、
              對於重金屬去除部分，樹脂濃縮                                                   上方式，在廠內已有應用，不再此
 對於更進一步降低TMAH，僅需優  脫附可能是未來處理方法。目前             鈷、銠…)混合於化學品廢液中，                  贅述，本文將介紹目前目前公司與
 揮發性有機物減量  水污染防治可行技術  化目前的系統處理方式及擴增樹脂  在F15P5  外排的鈷處理，即是採  此部份雖非屬廢水處理，但基於同     台大及工研院正進行研究的：電透
 從F15P7後的新廠都導入兩段式沸  處理量。而氨氮的處理，也是在於  用螯合樹脂濃縮脫附後，進行電解  樣理論，應可找到適用的樹脂吸           析方式(Electrodialysis,  ED)、電容
 石濃縮轉輪燃燒塔，此將揮發性有  一般管制項目  擴充薄膜蒸餾 (MD) 的處理量。  回收，目前在F15P5  外排的鈷皆  附。            脫鹽技術(Capacitive  deionization,


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