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Editor's 004 Tech 005 New 094
Column Notes Visions
編者的話 應用智能學習演算法建立製程尾氣處理設備 006 半導體業煙道硫酸排放減量策略 050 煙道酸鹼即時連續監測系統研究 095
王若杰/竹科廠務三部 氟氣排放預警機制 Reduction Strategy for Sulfuric Acid Emission of Acid/alkaline On-line and Realtime
Intelligent Learning Algorithm in Fluorine Stack in Semiconductor Industry Monitoring System of Stack Emissions
Emissions Warning Mechanism of Local Scrubber 楊孟堯 楊映茹 張皓隆/南科廠務三部 康智翔 錢立行/竹科廠務三部
黃柏勛 林永璋/新廠設計部
中央洗滌塔排水回收再利用改善空污排放 058 自動巡檢結合智慧監控應用於無塵室 103
研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略 014 RCW Recycling for Air Pollutant Removal of 空氣品質量測
Challenges and Strategies of Air Pollutants Central Scrubber Combined Inspection Robot and AI
Emission Reduction in R&D Fab 楓祥儀 陳能泉/中科廠務一部 monitoring for Cleanroom Quality Control
黃友元 盧銘駿/竹科廠務三部 陳聖偉/中科廠務二部 蕭睿呈 朱晃民/南科廠務一部
林安祺/智能廠務管理課
廢氣中氣膠微粒深度淨化處理技術 024 大數據分析冰水供應系統 066
Aerosol Reduction Using Depth-filtration Technology 操作參數最佳化設定
in Exhaust System Operating Parameters Optimization of Chiller
王鄧安/中科廠務三部 System through Big Data
陳博政/南科廠務六部 吳孝修 蔡宗原/竹科廠務二部
高溫逆脫附技術改善沸石濃縮轉輪去除效率 032 人工智慧應用於冰水系統節能技術探討 074
Improvement of Removal Efficiency Using Artificial Intelligence of Energy Saving
Reverse-direction Desorption in Zeolite Rotor Deployment in Chiller System
何大弘 姚文淙/竹科廠務一部中科廠務三部 莊哲嘉/竹科廠務三部
謝振友/中科廠務三部 蔡昆憲/智能廠務管理課
應用濕式旋風集塵器於製程尾氣處理設備改善 040 工業3.5冰機系統動態智能決策 080
Dynamic Intelligence Strategy of Industry 3.5
細懸浮微粒研究
CONTENT Wet Cyclone Participator of PM2.5 Reduction Chiller System
鄭凱元/南科廠務三部
in Local Scrubber
陳亮至/南科儀控系統一課
張聖杰/中科廠務一部
目/ 錄 蔡昆憲/智能廠務管理課
FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2019 3
