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Tech Notes

技/術/專/文

絕緣油總可燃性氣體分析於油浸式變壓器故障之早期預警機制
Analysis of Total Flammable Gas of Insulating Oil in Early Warning
Mechanism of Oil-immersed Transformer Failure

應用智能學習演算法建立製程尾氣處理設備氟氣排放預警機制
Intelligent Learning Algorithm in Fluorine Emissions Warning
Mechanism of Local Scrubber
竹科十二廠七期製程廢氣處理設備 攝影 / 姚杰明 影像處理 / 洪湘寧 研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略
EDITOR'S Challenges and Strategies of Air Pollutants Emission Reduction
in R&D Fab

COLUMN 王若杰│竹科廠務三部│ 廢氣中氣膠微粒深度淨化處理技術
Aerosol Reduction Using Depth-filtration Technology in Exhaust System
編/者/的/話
高溫逆脫附技術改善沸石濃縮轉輪去除效率
Improvement of Removal Efficiency Using Reverse-direction
Desorption in Zeolite Rotor

應用濕式旋風集塵器於製程尾氣處理設備改善細懸浮微粒研究
世界衛生組織（WHO）在今年一月公佈的「2019年全球十大健康威脅」中，空氣污染被列為十大健康 Wet Cyclone Participator of PM2.5 Reduction in Local Scrubber
威脅的首位，更表示「空氣污染是這個世代的新形態菸害」。在台灣，以紀錄片《穹頂之下》為契機，
半導體業煙道硫酸排放減量策略
越來越多的民眾意識到空污的存在與危害，並開始關注空污議題。台積電在製程不斷精進的過程中， Reduction Strategy for Sulfuric Acid Emission of Stack
不僅專注於產品品質的提升，更提供了大量的資源，傾全力達到綠色製造的目標，其中在空污排放改善 in Semiconductor Industry
上，更從廢氣減量、異味排除、白煙削減等問題的解決過程中，處處展現出不妥協的態度及積極改善的 中央洗滌塔排水回收再利用改善空污排放
決心，逐步朝向「空污零排放」的目標邁進。 RCW Recycling for Air Pollutant Removal of Central Scrubber
此外，在過去的幾年裡人工智能的發展風起雲湧，並以驚人的成效快速發展，然此議題雖然熱了好一陣 大數據分析冰水供應系統操作參數最佳化設定
子，但其進入門檻卻沒有因此而降低，目前業界真正能採用智能化技術的公司並不多，其最大的原因就 Operating Parameters Optimization of Chiller System through Big Data
是缺少專業人才。公司內部亦於多年前成立「智能技術中心」，致力開發大數據、機械學習、雲端運 人工智慧應用於冰水系統節能技術探討
算、智能學習、物聯網等新技術，並針對製程穩定、效率提升以及良率改善等進行智能化應用，以提升 Artificial Intelligence of Energy Saving Deployment in Chiller System
公司的競爭力。而廠務系統身為工廠運轉的基石，如何應用智能技術以提升廠務供應系統的穩定性及運
工業 3.5 冰機系統動態智能決策
轉效率，正是廠務現階段大力發展的方向，除希望培養此方面之專業人才外，更期望工程師能站在這波
Dynamic Intelligence Strategy of Industry 3.5 Chiller System
智能發展的浪頭上，將全新思維導入廠務系統。
本期季刊邀集各廠區機械專家分享多項空污改善及智能技術的應用與成果，第一部分為最新的空氣污染
減量技術及策略，包含混排廢氣的改善策略、異味氣體排放預警機制、PM2.5減量技術、硫酸排放削減
策略、洗滌塔回收水質改善以提升去除效率等議題；第二部分主題應用大數據、人工智慧、智能決策等
新方法，針對廠區最耗能的冰水系統進行優化，以期帶動台積電綠色製造的新步伐；第三部分為二篇新
象新知，其一為空污煙道酸鹼連續監測之研究，另一篇為巡檢機器人進行無塵室品質智慧監測的探討，
冀望廠務同仁在研讀時能有更多的發想及腦力激盪，並將合適的技術帶回廠區，持續改善。

特別感謝來自不同廠區的同仁，歷經多次會議的討論與修正，一步步讓季刊完整呈現，過程中除感受到
大家的熱忱參與外，更看到同仁在空污改善及智能技術的專業，未來，也希望透過智能技術在廠務系統
的應用，讓廠務成為一個更專業、更環保、更智慧的團隊。

4 中科十五廠六期揮發性有機物處理設備 (VOCs) 攝影 / 洪湘寧