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002 廢水 導電度技術探討
Study of Desalination Technology in Waste-water Treatment
曾 周 黃 / 新廠設計部 南科廠務1廠務五部
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013 有機型 於半導體先進製程中水處理的
The wastewater treatment challenge of metal-organic compound in leading-edge semiconductor
manufacturing technology
俊 吳 學 德 / 新廠設計部 中科廠務五部 中科廠務二部 竹科廠務四部
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020 放流水生物急 性 活水 的 與對策
Challenges and Strategies for the Biological Acute Toxicity of Effluents to Daphnia
吳 學/ 中科廠務二部
025 廢水系統 劑對放流水生物急 性探討與改善
Investigation and Improvement of the Biological Acute Toxicity to The Dosing Chemicals from Fab
Effluent Water
王 劉柏 / 南科廠務1廠務五部
031 氣提法進行IPA廢水改善評 與VOC廢 回收
The assessment of combining stripping application for IPA wastewater improvement and VOCs
waste-heat recovery
李明 何顯利 / 竹科廠務一部 新廠設計部
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038 酸 系統運轉實務與維護保
Operation and Maintenance for Crystallization Technology of Industrial Grade Ammonium Sulfate Liquid
曾 / 中科廠務二部
045 廢水生物處理系統運轉 進與實務
Improvement and practice of wastewater biological treatment system operation
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楊文 邊逢 / 新廠工程管理部 南科廠務2廠務二部
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053 壓縮空氣系統節能技術 進與整合
Evolution and Integration of Compressed Air System Energy-Saving Technologies
薛弘仁 游昇哲 / 南科廠務1廠務五部 南科廠務2廠務二部
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060 原物料特性– 進CR168 酸品質
Comprehend the characteristics of material and enhance the quality of mixing chemical
李家逢 黃玄根/ 南科廠務2廠務二部
065 化學品品質管理–循環過濾次數指 之計算 式
Management of Chemical Quality-Calculation Model for the Index of Chemical Filtration Times
劉俊男 楊仁毅/ 中科廠務五部
072 化學品自動化倉儲與高速物流系統建造與運轉實務
ASRS+DHL installation/commissioning/Operational experience
徐進峰 吳曜安/ 中科廠務五部
082 先進製程設備機台廢酸排放 前管理
Management of Waste Chemical from Advanced Process Equipment
陳政揚/ 竹科廠務五部
087 水質監測 UV 254 取代TOC/COD分析 可行性評 新 新
The Feasibility of Using UV to Replace TOC/COD Analyzer New Vision
254
張得威 王世民/ 竹科廠務五部
093 特殊氣體品質 系統 新 新
Special gas rapid quality detection system New Vision
黃介然 王義信/ 新廠設計部
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依照氨氮系統產水測試結果得知，單極膜電透析模組
較雙極膜模組能耗效率較好，因此陰離子樹脂再生廢水也
選用單極膜作為工程化模組。同樣以定電壓5V、 流速度
6cm/s與固定有效膜面積176cm 的單極膜電透析模組做降
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導實驗，實驗結果如 圖14所示，可以發現在進流廢水與酸
鹼回收液體積比為1 : 1時，薄膜處理即達到提濃極限，因
產生的回收酸鹼導電度上升斜率已趨緩，若再執行第二個
批次的處理，所需的處理能耗會增加；另外，降導的成果
為三小時可降低92%導電度(由23,000us/cm降至2,000
us/cm)，可 的是所產生的回收酸、鹼濃度僅1.8%與1.1%
，受限於回收酸鹼的提濃極限，此股廢水的回收酸鹼效益
並不如預期。
另一方面，若以相同實驗條件(廢水降導率70%)比較氨
氮系統產水與陰離子樹脂再生廢水用單極膜電透析模組處
理的結果，可以發現在產生回收酸鹼的效益上是氨氮系統
產水的結果較好，如 圖15，產生的酸鹼濃度是樹脂再生廢
水的約兩倍，所花費的能耗也較低，若以回收酸鹼為目的
考量，氨氮系統產水的效益就相對較高。因電透析法也屬
於薄膜分離的技術，基於質量不滅定 ，當進流水的成分
越複雜，則分離的困難度越高，因此樹脂再生廢水利用單
極膜電透析法處理，雖可使得出流水的導電度降低至
2000us/cm，但產生回收酸鹼的處理卻也還是另一個待解
決的問題，因廢液導電度已高達100,000us/cm，建議後續
流程可使用熱處理方式將水與鹽類分離，以達到去除廢水
中鹽分的目的。
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