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技術專文

4.3 小分子TOC改善方法說明
由上述一系列分析可知，UPW系統TOC於RO後組成皆為
小分子TOC(高分子TOC皆已去除)，故針對小分子TOC評估以
下方式進行改善。(圖19)其中第一點為原水入水點新增尿素分
析儀長期監控，與3.1節敘述相同。

4.3.1 新增DG VOC監控點

第二點為UPW系統2B3T單元DG VOC新增監控點。UPW
2B3T DG補充氣體來源由ME AHU供應，氣體內VOC總量過
高會影響UPW產水TOC(圖20)，現行僅由DG Blower出口VOC
圖20、VOC影響RO TOC案例
計進行監測，無法確認來源VOC讀值高低。
為強化UPW供應TOC水質穩定性，擬增設DG補充氣體來
源VOC監測儀，配合ME監測VOC去除率，提早進行濾網更換
以避免濾網吸附飽和影響UPW TOC。藉由SCADA VOC去除
率自動計算，建置完善Chemical Filter更換制度，達到不影響
UPW情況下最佳更換週期。(圖21)

4.3.2 高效能RO膜評估
第三點為UPW系統高效能RO更換評估。UPW系統既有
RO型號針對IPA去除率僅為88%，欲精進TOC的去除效率勢必
尋找有更高去除率之型號。以下列舉3款IPA去除效能與現行使
用型號比較。(圖22)
其中No.1 type SG30LE-440i為tsmc原使用型號(F18)，其
圖21、2B3T單元新增VOC量測點示意圖
餘No.2~4 type為委由UPW系統廠商Organo評估高效能(高
IPA去除率)RO膜。由於高效率的RO膜存在通量較低的問題，
如欲維持原本的供應流量勢必增加RO膜的數量，考量價錢
及效能的平衡下，選擇將原本RO膜替換為No.3 type SG30-
400/34i(增加25%的RO膜數即可維持原本流量，參照F18P1)，
可有效提升TOC去除率(IPA去除率由88%提升至96%)。(圖23)
RO膜選定後需進行效能的評估，針對既有RO型號
(SG30LE440i)與高去除效能RO型號(SG30-400)進行現地測試 圖22、高效能RO與現行款比較表
(分別於F18P1 UPW系統及高雄鳳山溪再生水廠進行)。(圖24)
於F18P1測試的選定於UPW系統DIT出口安裝新高效能RO
膜，並於新膜出口安裝TOC分析儀為期一週連續監測，同步與
UPW系統線上RO膜出口TOC進行比較。(圖25)由圖中去除變
化可發現，當更換為新型高效能RO膜後，RO TOC由2下降至
1.5ppb，RO(SG300-400)性能較RO(SG30LE440i)提升25%。 圖23、高效能RO與現行款通量比較

圖24、高效能RO現地測試評估流程
圖19、小分子TOC改善方法評估一覽表

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