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Notes
技術專文
H 2 O 2 /UV的現地測試亦於高雄鳳山溪再生水廠進行，測 圖34為UPW系統(F18P1現地測試)中僅UV及1段MD往前移
試採用再生水出口加設pilot機(圖31)，pilot機為MD膜→UV 至UV前TOC去除效率比較圖。由圖中顯示MD前移較單獨UV
Lamp→CP樹脂，並於UV入口量測H 2 O 2 ，CP出口量測TOC。 去除率提升8%(58→64%)，TOC由0.84下降至0.73ppb，性能
提升13%。
圖31、H 2 O 2 /UV法於高雄鳳山溪再生水廠現地測試流程
測試結果顯示AOP(H 2 O 2 +UV)對再生水TOC的去除效果 圖34、MD前移至UV與單獨UV TOC去除率比較圖
非常大，TOC可由原本僅UV lamp為2.1ppb下降至0.5ppb，性
能提昇76%。(圖32) 綜上所述，AOP(H 2 O 2 /UV)法無論在UPW 5. 結論
系統或再生水處理廠，對處理TOC均有顯著的效果。
5.1 小分子TOC改善方法評估
由第4節分析結果所述，有多種有效改善小分子TOC的方
式(圖35)。但考慮到台積廠內初次使用，須謹慎評估可行性。
如第3點高效率RO膜雖預期TOC可下降25%，但有可能ROR
TOC會變高並於再生時造成污染，同時由於單隻膜的通量變
小，故整體RO膜數量需增加33%，此法仍需進一步評估。
另外第4點中的AOP法(H 2 O 2 /UV)，對於TOC處理效果
雖好，但過量的H 2 O 2 如洩漏可能導致後方SBP單元受損。再
者，可連續監測微量H 2 O 2 的儀器十分昂貴。故AOP法仍需謹
慎評估。
第5點擴充UV Lamp對於去除TOC必定有效，惟初設成本
圖32、H 2 O 2 /UV去除率比較圖 及運轉成本會大幅上升。
UV TOC去除效率評估的第三點為「MD前移」。水中溶
氧會吸收UV能量生成激發態氧離子，造成TOC分解效率下
降，為避免水中溶氧與TOC之競爭效應，將既有MD(3段中1
段)改至UV前去除溶氧，藉此提升UV效率。(圖33)
既有MD改至UV前段，僅需進行管路修改，並無後續運
轉維護費用增加issue。
圖35、TOC改善方式評估
第6點「MD前移至UV前」對於UPW系統而言，由於僅
需改管並無後續費用，故為可以考慮執行方案。2021年7月於
F18P4 UPW系統前段Train2進行實際改管測試，測試結果如
圖33、UPW系統MD前移示意圖 下(圖36)。當MD前移後，SBP的TOC去除率可由48%上升至
57% ; 當水量減半時亦有64%去除率。(圖36)此方案已為美國
AZ廠正式設計方案。
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