Page 15 - Vol.48

表8、亞東氫氣槽車備援計畫

5. 結論與未來展望 ISEP、亞東同仁及其他各相關單位共同努力，現在已進入試俥
階段，期間有發現試俥排放的氫氣會干擾到FAB有微量讀值狀
5.1 結論
況，經分析氣候條件歸納風向、降雨、風速為關鍵因子，試
本案(F18P4氫氣水電解)建置工程共花了約3個多月 俥與否會卡控這三項條件(圖19)，另外新工也針對氫氣尾氣處
(2021/9/1~12/23)，2022年2月25日取得系統所有設備的高特證 理提出燃燒塔的方案，預計會在2023年Q1達成，未來會持續
照(共41張)，在3月29日進行丙危現勘審查，於4月25日收到南 收集試俥遇到的問題給之後的廠參考改善(F12P8、F18P5建置
科管理局核發丙危合格函。期間感謝廠務新工處、RM、Site 中)，待品質穩定且符合標準後將安排廠內的pi-run驗證。

圖19、初期試俥停機vs.氣候分析

5.2 未來展望 參考文獻

3
耗電量仍是目前氫氣水電解最大缺點，每生產1m 的氫 [01] 電解氫技術發展概況分析，台灣經濟研究院陳婕莉。
[02] 太原麗子(2018)，電解產氫技術簡介及日本發展現況研析。
氣必須消耗電力達4.5~5.5kwh左右，電費佔生產總成本約 [03] 設備配管查驗報告，楊山毅博士。
80%。若未來電力來源為綠電狀況下，水電解製氫設備就可
完全達到零碳排放成效。另外現況EUV用到大量氫氣後就直 作者介紹
接排放，已在設計將氫氣做回收利用進而轉為能源儲存的氫 王集緯 C.W. Wang
事情總是看起來非常艱難，直至你最終將它們完成。
氣回收系統，相信不久後也會導入台積廠內建置測試，為台
積在零碳排里程碑上又更進一步。
張岱軒 D.H. Chang
南科廠務九部P4氣化課副理。

FACILITY JOURNAL 12 2022 13