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VOL.49 廠務季刊 氣化運轉管理系統 GCMS 開發風險控管與專案管理

2.2 OUE 計算與物料禁用

OUE 全名為「Overall material Usage Effectiveness」 隨著半導體製程世代的演進，公司在邁進製程下一領
整體物料使用效益，為公司內「成本管理專案」單位 域時會伴隨著大量的實驗與試產，相對晶圓上有缺陷
( 單位代碼：ORP) 用來全盤掌握化學品與研磨液物料 的案例也會油然而生，找出產生這些缺陷的原因是我
在每個環節使用的用量並計算出效益值，透過審視不 們時常要處理的事情，而在查找缺陷時常會懷疑到原
同階段的用量藉此來提高每個物料在公司內的使用效 物料品質的問題，此時物料禁用的功能對於缺陷原因
益。OUE= production/ TTL usage，如圖2。 的查找就很需要，透過物料禁用可快速查找產生缺陷
的真因。
而OUE系統需廠務氣化端回傳資訊為五張資料表(圖3)，
分別為化學品常數、研磨液常數、化學品 OUE 計算 目前公司在物料禁用系統上只有提供全廠區禁用功
結果、研磨液 OUE 計算結果與各機台 VMB 開閥時間 能，但很多時候 RD 與製程只是懷疑物料有問題須做
表。目前五張資料表全數都由廠務端的 FHM 與 OUE 相關測試，並未完全確定為物料問題，若此時全廠禁
sever 負責做相關計算與回覆，兩張常數表在 FHM 上 用會同步影響到其他廠區相同物料使用，因此各廠廠
做相關設定、OUE sever 藉由 FHM 回傳的常數與相 務氣化端就被要求在 FHM 上增設單廠禁用功能做配
關動作紀錄做 OUE 的計算並定期統計各機台 VMB 開 合測試，但在廠務端平台上有此功能並不適當，廠務
閥時間後，再一併回覆給 OUE 系統。如此計算與設 不應有禁用物料的權限，若出問題影響到線上供應權
定全數都掛在廠務端，導致工程師常接到 OUE 數值 責歸屬也會分不清楚，導致廠務端一直以來都存在物
或是資料異常通知，花費很多時間在系統查修上進而 料禁用的運轉風險。( 圖4)
影響工作日常進程。

圖 2： OUE 組成介紹

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