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TSMC/ Facility Published
前 言 文獻探討
廠務氣化課提供 Fab 所需氣體、化學液與研磨液給線 2.1 氣化課專屬平台 -FHM
上機台,而相關物料的填補與更換流程卡控倚賴 FHM
系統,作為氣化課重要運轉監控系統之一,肩負原物 FHM 全名為「Facility HPM Management」廠務 HPM
料把關的第一道防護。 管理平台,舉凡現場各純液 / 廢液 / 氣體 /Shaker 即
時資訊、Drum 桶 / 鋼瓶 /Filter 換裝紀錄、槽車充填
隨著海內外不斷擴建新廠,各廠 FHM 系統雖相似但 紀錄、警報管理、各物料用量與庫存查詢等資訊皆彙
功能卻日漸出現差異,人員跨廠後需重新學習彼此系 總在此平台上供氣化課同仁進行查找維運,為廠務氣
統,無法有效率的溝通,在講求資訊透明、高效溝通 化課日常運轉必需平台。
的時代,系統效益不易得到發揮。且因既有 FHM 由
廠商開發,開發維護成本也逐步推升,不易與其他系 但隨著公司新建廠區越來越多,FHM 系統 ( 圖1)每
統整合,同時也存在資安風險。基於以上因素,需要 廠皆獨立運行未統一,導致各廠功能介面與架構差異
一套能整合各廠需求、專注運轉、管理介面一致的資 越來越大,內部的資源也無法共享,接連產生許多問
訊平台。 題。此時將各廠執行系統整合就是很重要的事情 [01] ,
將系統整合後不僅可以處理不同資料庫之間的複雜資
料交換及重整,日後還可更進一步進行大數據分析;
且因氣化課同仁非資料庫與程式專業,在遇到 FHM
系統資訊問題常無法正確有效的解決問題,且須同時
兼顧運轉導致曝露在高度運轉風險下發生風險控管問
題 [02] 。
圖 1: FHM 首頁
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