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VOL.53 廠務季刊 零廢製造中心運作與管理

而在廢棄物大量產生的狀況下，台灣的廢棄物處理廠家 異丙醇在半導體製程中常使用於晶圓乾燥、清潔等用
數量及處理能力並未隨著發展，未來台積公司可能面 途，以往低濃度廢異丙醇主要為委外處理，透過蒸餾
臨廢棄物無處可去的風險。為解決廢棄物處理問題， 方式將異丙醇廢液提濃，再作為工業級異丙醇原料，
台積公司目前朝向「循環經濟 3.0」發展，建立全台 而零廢中心透過 3 階段蒸餾(除水、共沸蒸餾及精餾)將
首座科學園區內的循環經濟專區：「台中零廢製造中 5% 低濃度廢異丙醇提濃且純化至符合台積使用之原物
心」(Taichung Zero Waste Manufacturing Center, 料規格(6N5)。有機溶劑主要用於半導體製程清洗晶圓
TCZWM)。零廢中心的建立是依照「生態化工業區」 表面的光阻劑及有機物，產生的廢液以往是透過清運廠
的概念，於晶圓 15 廠附近的「環二」用地設置，將 商委外燃燒處理，零廢中心將廢混和有機溶劑燃燒後產
台積公司產出之廢棄物再製為電子級或工業級產品， 生之高溫煙氣導進鍋爐，產生高溫蒸氣回收後供環二工
供園區廠商或重回台積公司製程使用。零廢製造中心 廠做使用，如廢異丙醇及廢硫酸在蒸餾過程中會使用高
就近設置於晶圓廠附近有許多優勢，除可以減少資源 溫蒸汽。半導體製程使用氫氟酸清洗晶圓以及使用研
耗用、降低原物料開採量及縮短運輸距離的碳排放， 磨液研磨晶圓表面，其廢水在廢水處理單元中經混凝
也可以有效監督廢棄物確實妥善被處理，更可以降低 沉降後產生含氟及含矽污泥，污泥以往是委外再處理
因台灣廢棄物處理量能不足產生的去化風險。 成水泥添加料或人工螢石，考慮再處理廠商處理量能
及就近設置因素，因此於零廢中心規劃污泥再利用廠。
硫酸的用途為去除晶圓之光阻，部分廢硫酸與廠內之
1.2 零廢製造中心處理項目與技術簡介
氨氮廢水反應產出液態硫酸銨，或使用於廢水系統進
為使零廢中心之效益「廢棄物減量」最大化，因此以 行酸鹼中和，而零廢中心透過 3 階段蒸餾將廢硫酸提
台積公司廢棄物占比較大之物料為再生目標進行園區 濃且純化至電子級硫酸回用至台積公司。零廢中心處
項目規劃。統整台積公司廢棄物大盤如圖3 所示，藍 理廢棄物技術及產品整理如表1 所示。
色部分為已在晶圓廠內進行再生減量（循環經濟 2.0），
零廢中心則進行其餘廢棄物的再生，如廢硫酸、污泥、
1.3 零廢製造中心管理範疇介紹
廢溶劑、廢異丙醇，再製成電子級物料回用或再生產
品販售。目前在台中零廢製造中心共規劃有含氟污泥 零廢製造中心成立為以廢棄物減量為最大目標，因此
再生、含矽污泥再生、廢混和有機溶劑熱回收、廢異 在設計開發階段時就邀集各領域專業廠商共同開發再
丙醇再生及廢硫酸再生。 生技術，初步是期望能將廢棄物再生為有用之工業級
產品，最終目的是期望能將廢棄物轉製為電子級原物
料再回台積公司使用。零廢中心再生廠商須優先處理
晶圓 15 廠產生之廢棄物，如仍有餘度則可收受中科園
區其他廠家之廢棄物。考量零廢園區整體規劃及台積
公司法律責任問題，台積公司與各再生廠商各別向科
管局承租環二用地，用「分租線」標示區分各棟權責，
由台積公司統一設置全廠區道路配置、用水、用電、
排水、放流路線，並提供 utility 給園區廠商使用，各
再生廠商於租地或建物內之道路則由各廠商自行辦理
並與園區內道路連接。

圖 3：台積公司廢棄物大盤及減量策略 (2030 forecast)

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