Page 159 - VOL.53
P. 159
TSMC/ Facility Published
1. 2021/08~2021/10 永康再生水導入各廠RCW，南科再生水以小型UPW模廠進行水質驗證。
2. 2021/10~2022/11 由F6P2開始，並依序導入AP、8"、N4x(每月10%取代率)。
3. 2022/11~2023/08 N16製程導入(每月7%取代率)。
4. 2023/08~2024/06 N5製程導入(每月5%取代率)。
圖 12：再生水導入廠區計畫
圖 13：UPW pilot 系統
圖 14：UPW Pilot Milestone
���
���
