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VOL.53 廠務季刊 台積公司淨零發展方向

案例探討(含研究方法及結果分析)

2.1 案例一：台積公司改裝無塵室外氣空調箱

研發濕膜板強化洗滌效果，有效節電 80%。( 圖5) 化水顆粒與空氣接觸時間，洗滌水泵用電量占無塵室空
調氣水輸送用電量 20%。為提高能源使用效率，台積
傳統外氣空調箱噴霧加濕系統以水做為質量傳遞的媒 公司攜手供應商共同研發濕膜板，藉由細水霧依附於濕
介，水泵將水加壓霧化、再由噴嘴將水細化成特定直徑 膜板上形成大面積水膜，以提高外氣滯留時間、增加
水顆粒，進氣與水顆粒經過慣性撞擊、質傳、溶解等作 氣流濕潤面積，使水膜可吸收更多外氣所含微污染物，
用而去除空氣中微污染物，以維持無塵室的進氣品質。 不僅強化洗滌效果，且水泵馬力變小，可減少 80% 用
因介質板噴霧加濕系統受限於空調箱尺寸，無法增加霧 電量，達到節能效益 [03] 。

圖 5：外氣空調箱濕模板系統

2.2 案例二：UPS ECO 模式

台積公司為了預防電力系統異常影響生產，無論廠務 2.2.2 嚴謹驗證，可靠度 100%
設施或生產設備皆裝設不斷電系統 (Uninterruptible
設備一旦異常運轉，晶圓廠將蒙受營運重大損失，因此
Power Supply, UPS)，來管理電力波動風險。然而，
在全面實施此一創新節能專案前，特別透過第三方國際
一般的不斷電系統為了能在電壓瞬降時發揮保護機制，
測試權威 (Underwriters Laboratories Inc.) 進行 116
必須24小時透過整流器充電儲能，再經由逆變器供電，
項驗證，確認新的節能模式在電力系統供電異常時，其
因此平時運轉額外增加了 5% 耗能。為降低系統的能量
作動邏輯仍符合國際半導體業電壓瞬降應變能力規範
消耗，民國 105 年，台積公司與 UPS 供應商攜手開發
的標準 (IEEE SEMI F47)。同時，並加做負載加嚴測試，
UPS 節能運轉模式，提供業界更多節能選擇，提升能
最後經三次壓降確認可靠度達 100% 後才核准上線。
[04]
源使用效率 。
2.2.3 提升效率，共創雙贏
2.2.1 分析壓降，改善韌體
根據新的 UPS 節能模式設計，平日電力逕行經由節能
台積公司與廠商先分析民國 104 年與 105 年所有壓降
路徑(如圖6) 供應，遇到電壓異常時，則能瞬間切換
記錄，逐一檢討參數靈敏度與壓降保護動作之間的關
至壓降保護電路，不僅省下 5% 能耗，整體效率亦由
聯性，再由電力專家審查內部韌體邏輯，並將其優化
94% 提昇至 99%。民國 105 年，此項節能措施成功導
找出安全的節能模式。
入先進製程，共節電 14.4 百萬度，佔全公司年度節電
量 16%，是廠務節能創新的重大突破。
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