Page 12 - VOL.53

VOL.53 廠務季刊 台積公司淨零發展方向

2.5 廠務製程減排創新-N O
2
因溫室效應溫升帶來的全球暖化(Global Warming)， 了提升 LSC 反應溫度裂解方式 (>1000℃ ) 雖有效去除
為氣候變遷的主因，且近年台灣年均溫屢創新高(2020 N 2 O，但此削減方法伴隨產生大量 NOx。
年均溫+1.59℃ )，洪水、缺水、強颱 屢見不鮮。
透過新技術的開發，再行改造 LSC [06] ，新增CH 4 為還原
而溫室氣體包含 CO 2 、CH 4 、 N 2 O 、F-GHG(HFCs、 劑 ，通過 Semi-S2 安全認證，經工研院檢測在維持相
PFCs、NF 3 、SF 6 )，TSMC 總溫室氣體排放量中， 同溫度下，N 2 O 去除效率達 98%、NOx 降低 40%。
電力使用間接排放佔 75%，製程氣體直接排放佔
25%(第一名為 N 2 O 佔 9.6%)。 目前廠務預計使用七年的時間，將KT1000FA type LSC
現地改造 & Others Type LSC 更換為可處理 N 2 O 機型
因此廠務針對 N 2 O 進行去除效率改善，目前既有製程 ( 圖 12)，N 2 O 排放減量 2,500 噸，約 0.75M ton CO 2 ，
尾氣處理設備 Local Scrubber(LSC)( 圖 11) 對N 2 O處 約 1,937 座大安森林公園 CO 2 年碳吸附量。
理效率 <60%(2019 IPCC Guidelines Rule : >60%)，為

圖 11：LSC 反應圖

圖 12：LSC N 2 O 改造計畫時程

��