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CONTENTS                                      目次





























                       EDITOR'S COLUMN

                       編者‧言 / 洪永迪
                                                                                 SPECIAL






                      4    四甲基氫氧化銨(TMAH)綠色循環回收再利用                                REPORT
                           TMAH Reclaim in Green Recycle
                           李玫/新廠設計部
                             14   創新綠色廠房跨廠區回收水網路節水構思                             特別企劃

                                  Innovative Green Design of Inter-Fab           003
                                  Water Reuse Networks
                                  陳誠亮 李瑞元/國立台灣大學
                                  洪詩雯/新廠設計部
                   20     潔淨室氣態分子污染物(AMC)污染源之預
                          測方法
                          AMC Source Identification by CFD
                          Modeling in Cleanroom
                          曹志明 周政隆/新廠設計部
                          黃正吉/製造技術中心
                                    28    節能指揮家 i-ASC
                                          i-ASC Air System Controller for Power
                                          Saving
                                          許駿烽 張晉銚/十二廠廠務一部
                        34    綠色思維下的濕式洗滌塔設計沿革

                              Green Concept of Wet Scrubber Design
                              Development in tsmc
                              陳駿華/新廠設計部
                              楊宗敏/晃誼科技股份有限公司




                                                                              NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL         APRIL 2012  3
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