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Special
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Report
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特別企劃
特別企劃
文│李玫│新廠設計部│
TMAH Reclaim in
Green Recycle
四甲基氫氧化銨(TMAH)
綠色循環回收再利用
以四甲基氫氧化銨 (TMAH) 作為顯影劑，已廣泛使用在半導體業及光電產業等高科技產業，所產生之
污染也因此與日俱增。TMAH 廢液同一般鹼類具有腐蝕性，亦因製程之不同，不純物可能包含 : 光阻
劑、介面活性劑、重金屬陽離子、陰離子等。一般 TMAH 廢水處理有觸媒氧化法，或燃燒法，或生物
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