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CONTENTS
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002 EDITOR'S COLUMN EDITORIAL
丁瑞華/新廠設計部 vol.15
BOARD
003
TECH 發行人 Publisher
NOTES 莊子壽 Arthur Chuang tschuang@tsmc.com 為滿足
總編輯 Editor in Chief
004 以計算流體力學模擬煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響 黃昭文 Jau Wen Huang jwhuanga@tsmc.com 先進製程技術發展與
Simulation of Stack Emission and the Impact on Cleanroom Intake Air 主編 Managing Advisory
丁瑞華 Howard Ting jhting@tsmc.com 生產的多變需求
陳駿華/新廠設計部、馮郁寧 胡石政/臺北科技大學
編輯顧問 Editorial Advisory
014 創新氨氮廢水資源化 洪永迪 Eddy Hung 黃偉裕 Cronus Huang
范恩祖 E.T. Fan 鍾振武 Chenwu Chung
New Technology for Ammonia Recycling from Wastewater
于 淳 Chwen Yu
李玫/新廠設計部、傅正貴/十四廠七期專案、王俊元/十四B廠廠務一部 新廠營建工程惟有在施工與管理方法上
編輯委員 Editorial Board Members
022 無塵室環境濕度對於奈米粒子污染生成的影響 林素芬 Sophie Lin 呂孟倉 Meng-Chang Lu 持續精進,方能因應新廠於時程、品質
曹志明 James Tsao 林豪逸 Hao-Yi Lin 與安全等各方面要求。
Influence of Cleanroom Ambient Humidity on the Formation of Nanoparticles 孫旭輝 H.H. Sun 洪文當 W.D. Hung
郭啟文/廠務技術發展專案 在下期季刊中,將透過一系列的專文,
美術主編 Art Director 與讀者分享新廠營建部與工程品質暨安
030 膜板式外氣水洗加濕器加濕裝置研究 洪湘寧 ViGi Hung vigi_hung@tsmc.com 全管理部在這部份的理念與成果,敬請
Membrane Type Outdoor Air Humidifier and Washer 攝影 Photographic Editor 期待。
洪湘寧 ViGi Hung vigi_hung@tsmc.com
曹志明/新廠設計部、康智翔 陳庭鈞/十二廠廠務一部
發行 Publishing
040 電力負載電紋特徵辨識技術應用探討 新廠工程處 New Fab Engineering Division
Power Signature Analysis and Application 台灣積體電路製造股份有限公司
新竹科學園區力行路25號
李文振/新廠設計部
T. +886-3-563-6688
F. +886-3-566-2051
com
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出刊日期 中華民國103年6月
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