Page 6 - Vol.14

Tech Notes

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以計算流體力學模擬煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響
Simulation of Stack Emission and the Impact on Cleanroom Intake Air
創新氨氮廢水資源化
New Technology for Ammonia Recycling from Wastewater

無塵室環境濕度對於奈米粒子污染生成的影響
Influence of Cleanroom Ambient Humidity on the Formation of Nanoparticles

膜板式外氣水洗加濕器加濕裝置研究
Membrane Type Outdoor Air Humidifier and Washer
EDITOR'S 電力負載電紋特徵辨識技術應用探討

Power Signature Analysis and Application

溶液除濕空調與節能應用
COLUMN
Liquid Desiccant Air-conditioning and Energy Saving Applications

低壓氣體之壓力恆定迴授控制應用
Constant Pressure Feedback Control Application for Low-pressure Gas

丁瑞華│新廠設計部│ 高效率電腦機房節能手法探討
ᇜ ٫ ٙ ༑ Energy Saving in Data Center Infrastructure

在半導體製程即將邁入 10 奈米及 7 奈米製程之同時，廠務系統不論在微觀的製程環境與巨觀的資源供
應，或是對於周遭的自然環境受體，都會產生新的衝擊與挑戰。這些衝擊與挑戰包括：超純淨原物料
（水、氣體、化學品）的製造、供應與輸配，供電系統品質與能源節約，以及製程生產條件的控制（生
產環境之潔淨度及穩定性控制、電磁波防護、廠房微震動、廠務系統效率優化，以及省水、省能、降低

污染排放）等課題。本期新工季刊即針對這些課題，收錄了八篇技術專文；其中《以計算流體力學模擬
煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響》及《潔淨室環境濕度對於奈米粒子汙染生成的影響》二文，討論潔
淨室的環境控制及可能對製程造成的潛在風險的因子進行討論。《膜版式外氣水洗加濕器》、《溶液除
濕空調與節能應用》、《電力負載電紋特徵辨識技術應用探討》及《高效率電腦機房節能手法探討》，
則分別對冷凍空調系統、電力監控及電腦機房設計提供效率優化及能源節約的選擇。《低壓氣體之壓力
恆定迴授控制應用》一文，以創新的方式，提升低壓氣體供應之穩定性。《創新氨氮廢水資源化》則提
供了大量使用氨水的半導體廠一個降低環境衝擊又可將氨氮廢水轉為再利用資源的方向。新象新知部
分，分享了以觸媒法除去超純水製造過程中之副產物 - 雙氧水、智慧型火災偵測系統，以及最近非常熱
門的話題 - 物聯網與 3D 列印技術，未來也都可以應用在建廠及廠務系統上。

在有限的篇幅中，雖然無法涵蓋未來廠務系統各領域的趨勢及應用，但期能以這些專文開啟讀者一個創
新的思維，並引起更深入探討。

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