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說明如 圖二 。
圖二、網頁上即時和預約隔離
– Anywhere
以前警報隔離，需要到廠務值班
計畫性 審核 中心進行隔離，現在只要登入網
頁，就可以直接進行隔離警報工
隔離
OA 副理/值班組長 作。
值班人員
–Anytime
tsmc network
每天工程和維護保養，必須在工
隔離管理
Server 程開始前才可以進行隔離，晨會
後尖峰時間往往需要排隊等待，
SI network 現在透過網頁計劃隔離，可以在
任何時間，有計劃的執行立即或
預約隔離。
自動化更新
原本隔離警報群組，需要定時維護
G&C I&E WTE MSS
SCADAs SCADAs SCADAs SCADAs 和更新，現在系統可以透過警報群
組的自動更新，減少維護人力和避
依排程進行隔離 & 解隔離 免忘記更新。
定期自動同步更新Local Tag 至中央 DB
參數變更源頭管理 - iPRS
(intelligent Process Release
Standard)
圖三、透過自動化讀取參數，可以於網頁上查詢所有參數設定值
iPRS 的設計理念則是針對系統機
台重要參數進行源頭管理，直接由
PLC 擷取機台系統參數，再將參
DB
Local SERVER 數上傳至資料庫進行前後比對，掌
SCADAs
資料庫
現場控制系統 伺服器 握機台參數，全面監控現場系統參
數。例如化學品壓力設定、研磨液
泵浦轉速設定、混酸比例 ( 研磨液、
化學品、純水、雙氧水 )、硫酸壓
力設定、特殊氣體更換鋼瓶和清除
SMS
Tool System 殘餘氣體次數等等重要參數如 圖
原物料 簡訊
供應機台 系統 三 。
此平台除了提供廠區系統工程師進
行查詢，還可以跨廠區進行相同製
PLC
程參數比對，自動簡訊及報表功
可程式邏輯
控制器 能，強化參數異動管理及同屬性參
數差異性管理。
HMI
人機介面
結果與分析
在分析完成警報隔離與參數管理所
照需求客製化所需的群組，減少每 網頁即時和預約隔離
需要的程序後，將隔離資訊化繁為
次隔離重覆警報點的時間。 節省工程師警報隔離作業的時間， 簡，將警報隔離清單依照課別、隔
300mm FABS FACILITY JOURNAL MARCH 2016 51
