Page 49 - Vol.21
P. 49
在晶圓廠中廠務系統所扮演的另一 的參數設定，參數的設定不正確會 機台製程參數後，無法留下完整紀
個角色是提供穩定、符合品質的生 影響到原物料的供應品質，更直接 錄，工程師也可能因為繁忙而未將
產物料 ( 例如研磨液供應系統、化 影響到晶圓的製造品質，因此參數 參數復歸或交接由值班人員管理，
學品供應系統、氣體混和供應系 異動管理非常重要。廠務氣化供應 自動化參數異動管理可以協助管理
統 )，供機台設備製造使用，穩定 系統機台製程參數，都是直接在現 參數異動和減輕工程師的負擔。
供應關鍵點在於廠務供應系統設備 場輸入設定，當系統工程師更改
從事 FMCS 工作已有十三年的經驗 於新廠設計部將屆滿一年，從一開始對新建廠的陌生到
烜 宏 ，喜歡研究和挑戰新的事物。 宗 廷 林 T .T Lin 目前學習到很多 FMCS 系統面的新知與新建廠規劃經
專長：SCADA、通訊架構、系統整 驗，很開心能夠參許這偉大的團隊，期許自己在 FMCS
合、電子平臺。 這專業的領域能夠再成長，貢獻己力，讓團隊更好。
朱 Jacky Chu
300mm FABS FACILITY JOURNAL MARCH 2016 49
