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南科十四廠三期植生牆 攝影 / 洪湘寧

EDITOR'S

COLUMN 編/者/的/話
李明利│南科廠務五部│

這幾年公司在 20/16 奈米快速放量推進，乃至目前的 10/7 奈米，及未來的 5 奈米製程發展，皆領先業
界。而量能與製程的推進，廠務也扮演重要的角色，特別是與晶片直接接觸的氣體、化學、水三大項。
本期廠務季刊，聚焦氣化領域在因應多變的製程需求中的創新技術與寶貴經驗，以及水處理系統在節水、
節能、減廢等環保議題的持續努力。

氣化領域共五篇，包含〈研磨液過濾系統新革命〉，首創掃流式過濾改善研磨液品質、降低晶圓刮傷缺
陷，以及面對問題、找出原因、成功提昇系統穩定性的〈醋酸丁酯負顯影劑廠務供酸系統大解密〉及〈研
磨液之雙氧水即時量測技術進化〉。〈矽甲烷供應系統安全防禦之實務探討〉則是整合業界技術研究與
實際運轉經驗，對矽甲烷之安全防禦機制做完整的探討； 最後〈惰性製程氣體回收技術〉是在兼顧永
續利用及運轉安全下，回收高單價的惰性氣體製程廢氣，達到降低成本且兼顧環保目標，目前已成功運
用於氖氣回收上。

水處理系統共七篇，內容呼應剛落幕的 Semicon Taiwan 2016「高科技廠房設施國際論壇」，著重節
能、減廢與環保等攸關國家及產業永續發展的重要議題。〈廢水處理廢水！〉及〈含臭氧酸鹼廢水回收
至純水之設計與運轉分享〉是善用廢水特性、邁向系統最佳化整合的案例，其中應用的「高級氧化程序」
也是目前台積再生水研發的主要方法。努力提升水回收率之時，廢水處理之藥劑量也隨之增加，〈生態
保育水活化─殺菌技術大進化〉發展脈衝電漿殺菌技術，以物理性殺菌取代化學性投藥，減少放流水之
生物急毒性。此外，廢棄物減量為公司綠色製造主軸之一，〈節能減廢新藍海─機械式蒸氣再壓縮系統
原理概述及應用〉是硫酸銨減量的新方向；〈液中求銅〉則是硫酸銅廢液有效資源化的成功案例；〈新
型紫外線裝置對超純水總有機碳去除效率探討及效益分析〉是另一節能的案例；〈工業再生水研發〉是
繼先前 Vol.18 季刊發表的實驗室測試，進階到模廠連續運轉測試，這是公司水資源回收的長遠目標。

在新象新知部份，本期分享〈壓力驅動的網管流模擬〉，不著墨於模式的推演，但求觀念上的說明，希
望大家有興趣。

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