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圖 3、AWD (H 2 O 2 ) 結合 UV 系統處理含 IPA 與 COD 之 AOR 廢水程序

AOP Process Reclaim System
AOR Drain
AWD Drain New System LSR
(H 2O 2)
Supply
Tank

L L
RCW
Tank
AWD Buffer UV System pH Adjust ACF/Catalyst RO RO Product
Tank Tank Tank

圖 4、UV/H 2 O 2 批次式反應示意圖

UV lamp UV lamp
Mising tank
E-16 E-13
P-8 P-9
P-10
E-10 Magnetic Stirrer

Recirculaed pump
P-2
E-15 E-7

E-14 E-4
E-5

中的組成（有無含有 OH˙ 之捕捉 測試構想 並以小型 UV 反應 (14W×2，波長
-
2-
劑，如 CO 3 或 HCO 3 等，污染物 253.7nm) 進行反應，反應後廢水
以含 H 2 O 2 之AWD 結合UV系統處
濃度）。 將以 GC/MS 分析有機物結構與產
理含 IPA 與 COD 之 AOR 廢水程序。
物，批次式測試示意圖如 圖4 所
本 計 畫 構 想 將 含 IPA、COD 之
示。
AOR 廢水導入含 H 2 O 2 之 AWD 廢
廠區 IPA 與 COD 水並增設 UV 系統，應用高級氧化
於水系統之分佈 程 序 UV(ɦʋ)催 化H 2 O 2 產 生 OH˙
自由基 (Redox Potential 2.8 eV)， 結果與分析
OH˙ 自由基具有強氧化力，可有
效處理與降解 IPA、COD 與 H 2 O 2 ，
以十二廠六期為例，廠區內 IPA 與 小型批次式試驗
並可將 AOR 與 AWR 處理後廢水回
COD 主要來源為 AOR Drain，分別
約佔 97.8% 與 81.1%，如 圖2 所 收再利用，供應次級用水使用，如 將 AOR 與 AWD 依照水源比例 1:1
示。IPA 次 高 來 源 為 SEX (Sulfate 圖3。 共 2L 進 行 UV 反 應 (14W×2， 波
Exhaust)，約佔 1.58%，另外來源 長 253.7nm)，如 圖5 經由反應後
為 尾 氣 處 理 設 備 (Local Scrubber 發現，處理初期 30 分鐘 COD 快速
批次式測試方法
Drain)，COD 次要來源為放流水約 去 除 由 654mg/L 下 降 至 308mg/
占 16.5%。由調查結果得知，若能 將以十二廠六期為測試對象，測試 L，去除率達 52.9%，且 H 2 O 2 快速
將 AOR Drain 有效處理，將可有效 水 樣 取 AOR 與 AWD (H 2 O 2 ) 系統 去除由 256 下降至 100mg/L，當
將 IPA 與 COD 減量。 廢水，依照比例 1:1 共取 2 公升， 反應達 180 分鐘，COD 濃度下降

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 51