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Design and Experience
Sharing for
Acidic Waste
Drain (O )
3
Reclaim to Ultrapure
Water system
含臭氧酸鹼廢水回收
至純水之設計與運轉分享
含臭氧酸鹼廢水為含臭氧的機台排放廢水，其為擴散及蝕刻機台之臭氧產生器與純水混和用來清洗晶圓上
的微量有機物。透過排水水質量測及用途追蹤，發現其水質特性為高氧化性、低導電度，總有機碳濃度可
達純水回收標準。然而臭氧氧化性對於純水系統設備造成破壞，必須進行改善方可回收。首先，專管收集
並進行機台排水管路調查，將非屬 AWD（O 3 ）水源分離確保水質穩定。其次，設計臭氧去除單元—活性碳
塔，透過現場實機測試結果，處理前臭氧濃度約為 6 ppm，處理後可完全去除，另外總有機碳濃度及導電
度均可穩定達純水回收標準，純水供應至機台水質亦不受影響。因此透過機台用水分析、專管分流收集及
活性碳塔的設計成功將 AWD（O 3 ）drain 回收至純水系統使用，每年可減少 12 萬噸自來水使用，並且處理
成本僅僅只需要自來水的五分之一。此低成本回收方式，大幅提昇廠內水資源利用效率。
關鍵詞/ 臭氧、酸鹼廢水、純水系統、活性碳
Keywords/ Ozone、Acidic Waste Drain、Ultra-Pure Water、Activated Carbon
文│楊淵超 溫士賓│竹科廠務一部│
前言 性的用水不平均，正是目前水回收所面臨的問題
之一。因此將回收水由二級使用轉至純水系統使
用則是相當重要關鍵，純水主要供應機台清洗晶
隨著半導體廠製程回收率不斷提升，二級用水回 圓使用，故可回收之水質標準及穩定性更為嚴苛
收來提升水資源利用目前已非主要瓶頸，但二級 及重要。
用水的需求隨著四季變化有著顯著的差異，季節
加入台積電十多年來，參與多項水 感謝台積電給我舞台發揮，以冷
淵 超 士 賓
系統改善，使我專業技能、溝通及 靜思考面對挑戰，困難即會迎刃
管理更加精進，很高興與公司一起 溫 Shi-Bin Wen 而解，過程中得到成就感對我而
共同成長。 言非常珍貴。
楊 Hugo Yang
300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 55
