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此計畫之成果，總共已實驗十台， 進行雙氧水量測取樣減半，每年節
至目前為止，最長超過一年並無造 省下來的物料成本便會相當可觀。
成任何相關警報發生。本章節將以
此超過一年之機台其雙氧水量測結
果作主要討論。
結論
安 裝 上 新 設 計 之 Piston 及 O-ring
組，此處使用的是「鐵弗龍材質」
(PTFE) 聚乙烯 (PE) 材質的測試結 以上各項已成功實踐之作法，利用
果，由於其蕭氏硬度較大 (D68)， 2015 年的狀況計算，預計十四 B
內層的 Viton O-ring 無法有效將其 廠一年人力可節省三千多小時、一
撐開，於推進或者回拉過程中，外 年機台警報減量九百餘次、物料一
層盔甲容易向內縮而造成密合度異 年可節省五百多萬。此外並提升廠
常問題。此組合由 H 2 O 2 的即時量 務運轉效率，不必花費大量時間處
測結果，可發現實驗前後的結果不 理假警報。廠駐人員不必一直取樣
變，並且安裝後至今最長已經一年 送測實驗室，以及進行 ATRs 的各
又三個月未執行 ATRs O-ring PM 項異常狀況排除，甚至原本 ATRs
（包含上油或者更換橡膠環），並 的月 / 季 / 年保養，都可以不必執
且雙氧水的量測結果皆因為此料件 行，廠駐人員將可實現只要保養機
測試造成之異常狀況，預計全面更 台外觀之理想願景，相信對本公司
新之後，TSM 和廠務人員工作負擔 有使用到 ATRs 的各廠人員，其工
絕對可大幅下降 圖 20。 作效率會有顯著之幫助。

ATRs 減量滴定，軟體計算優化
此處作法，故意利用雙氧水含量較
低之研磨液作測試，來加強驗證此
計算優化的方法（雙氧水含量越
低，若取樣減半更容易造成滴定不
穩），機台原始的滴定數據，當量
點硫酸鈰消耗約 4.52 毫升，預滴
定量為零，雙氧水含量為 0.760%；
利 用 式 一 求 出 factor 為 0.1681，
因此當取樣量 減半後，factor 會
放 大 成 0.3364， 此 時 候 的 H 2 O 2
trend chart 出現許多異常突波，因
此被監控單位挑出進行檢討 圖 21 。

於是進行軟體數據優化，將假想預
滴定量設定於計算程式內，取樣
減半後的當量點消耗量為 2.26 毫
升，設定預滴定量為 2.26，兩者
相加後，系統便會判定當量點消耗
量為 4.52 毫升，則 factor 恢復為
0.1681，此時 H 2 O 2 偵測穩定度便
會恢復正常；另外，為證明不會因
此修改而 H 2 O 2 量測變成呆掉，故
意進行雙氧水 /slurry 混酸比例異常
實驗（雙氧水多加一些），結果一
樣可逮到異常量測值 圖 22 ，如此便
可使取樣減半達到實戰性之使用，
預計一年該廠區硫酸鈰的使用，可
節省約 250 萬。若各廠能使用此法

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 47