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Tech
             Notes
             技術專文

            圖 10 是較乾淨的高壓站,可以發現
                                             圖 10、背景乾淨的站之局部放電波形 (PD Care 分析 )
            整個背景都是很低的,這也是管理
            者比較想要的情況,在這種背景條
            件下,若高壓設備劣化可以清楚地
                                                 3
            被比較而逮出,而  圖 11 為瞬間電
                                                              CH5 Pattern  Time:2017-2-5_0:56:00
            磁干擾 (EMI) 的情況,此類型可能                  2.5            2mV
                                                                           Pattern Time:2017-02-05 05:10:29  Max.
            是因為電信設備所發出,或人員活                                    1.5mV
            動之靜電放電 (ESD),照明開關接                   2             1.0mV
                                                mV
            觸之電弧放電所瞬間輻射出之高能                      1.5           0.5mV
            量電磁波,因為沒有固定相位放電                                     0mV                         Min.
                                                                  0     90   180   270   360
            的關係,透過 PD care 觀察,可以                 1
                                                                                                   CH1-mV
            很清楚的辨別只是「雜訊干擾」。                      0.5                                               CH1-pps

                                                 0


                                                pps
            計畫降低局部放電

            監測背景值的方法
                                                2017
                                                                        08:00
                                                      02:00
                                                            04:00
                                                                                                 16:00
                                                                               10:00
                                                                                     12:00
                                                                                           14:00
                                                                  06:00
                                                02-05  2017 02-05  2017 02-05  2017 02-05  2017 02-05  2017 02-05  2017 02-05  2017 02-05  2017 02-05
            至於要如何降低那些環境背景較高
                                             圖 11、背景乾淨的站人員活動造成之瞬間干擾波形 (PD Care 分析 )
            的站呢 ? 我們可先由局部放電理論
            上出發分析,因局部放電感測器主
                                                                         CH4 Pattern  Time:2016-12-27_9:30:00
            要是接收了輻射近場及輻射遠場的                              星期二, 十二月27, 02:32-02:33
                                                          CH4-mV:0.4     44.5mV                       Max.
            電磁能量,其中,空間輻射干擾主                               CH4-pps:0                  Pattern Time:2016-12-27 09:29:27
                                                  120                    33.4mV
            要是 30MHz 以上的射頻成分,傳                                           22.3mV
            播路徑為透過空氣傳播耦合至該                        100                 Pattern Time:2016-12-27_09:30:00  11.1mV
            頻段的感測器,傳導輻射干擾則是                       80                      0mV  0  90   180   270   360  Min.
            30MHz 以下,主要透過地線傳導                    mV
            耦合至該頻段的感測器。                           60
                                                  40
            以技術而言,透過空氣傳播的干擾
            量可以透過完整的法拉第籠屏蔽 圖                      20
            12 ,這道理就好像在密閉的電梯裡,
                                                  0
            手機沒有訊號是一樣,因為導體內
            部無電場的關係,完整的法拉第金                       20
            屬屏蔽可以有效隔絕外部傳過來之                      pps
                                                  10
            任何電磁波。  圖 13 台積目前現有
                                                  0
            的不完整屏蔽高壓盤,其可能遭受
                                                  2016  2016 12-27  2016 12-27  2016 12-27  2016 12-27  2016 12-27  2016 12-27  2016 12-27
            到空間輻射的干擾,  圖 14 為完整                  12-27  03:00  06:00  09:00  12:00  15:00  18:00  21:00
            屏蔽的高壓盤盤,當感測器安裝於
            內部時,其受空間輻射傳導的高頻
            干擾量可以忽略。因此如前文所提
            到的人員靜電放電、電信設備的干
                                             地的平面有高頻電流的傳遞,且距                 設備的分布狀況比較複雜,難以有
            擾、照明開關切換所造成的電磁干
                                             離局部放電感測器較近,因此透過                 效地都模擬進去。我們若以較簡單
            擾等,對完整屏蔽的密合高壓盤,
                                             近場耦合到感測器上。                      的理論分析,則是運用阻抗的概念
            幾乎是沒有影響的。
                                                                             了。不管頻率高低,任何頻率下的
                                             一般模擬接地電流需透過有限元素
            接下來我們要分析低頻傳導干擾                                                   電流皆往低阻抗路徑流動,因此要
            量,因此類型的傳導干擾是透過                   分析法給定激發源,與所有形狀的                 降低感測器所在位置附近的傳導接
            「導體」的傳遞,此類雜訊跟高壓                  邊界條件如導體介電質等,可以簡                 地干擾,比較簡單的概念則是強化
            設備共同的關係就是接地,由於接                  單地模擬接地電流的流向。但現場                 接地的完整性,讓所有接地平面的



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